0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

表面声波传感器的工作原理及应用

华林科纳半导体设备制造 来源:华林科纳半导体设备制造 作者:华林科纳半导体设 2022-08-22 16:52 次阅读

新型表面声波器件自上世纪60年代以来,已经有40多年的历史了。其中应用最广泛的是表面声波滤波器,其次是表面声波传感器,由于表面声波的传播速度与衰减和它所处的传播环境以及介质的参量有很大的关系,所以利用了表面声波传感器制作器件,会具有很高的灵敏性。

表面声波传感器一般利用两种不同的石英晶片为基片,前者有高压电系数,后者温度稳定性较好。在表面声波传感器件表面涂抹某种特殊物质及催化膜,这样与周围环境里的气体、液体或固体粒子接触时,通过对它们的吸附,使器件质量发生变化,形成质量、化学或生物传感器。

如果要提高灵敏度,还得要改进传感器的结构,比如选取适当的基片及适当的对基片的切割方向进行更改,并适当选取换能器电极的材料,优化设计换能器的结构等方法。对于如果是用在化学或生物领域,还需要优化选择传感器的催化膜的材料以及厚度。

表面声波传感器的应用:

1. 瑞利波传感器

瑞利波传感器也成为表面声波传感器,因为瑞利波传感器的位移轨道为椭圆形轨道,所以在液固环境传播时,能量容易漏向液体。因为不适用于液体环境的传感检测,只能应用在气体环境里。目前瑞利波传感器较成熟,部分已达到商用要求,多用于毒品、毒气以及有害气体的检测。

2. 切向水平板模传感器

瑞利波传感器在液体环境中无法使用,通常选择水平位移的声波模式,比如切向水平板模传感器,切向水平板模传感器是一种声波导,质量检测灵敏度依赖于板的厚度,板越薄灵敏度越高。优点是上下表面均有切向水平位移,这样的话两面都可用于传感。缺点是由于板太薄,无法承受一定的机械强度,所有近年来较少研究。

表面声波传感器因为具有灵敏度高、分辨率高、稳定性高、体积小以及输出信号易处理等优点而得到广泛应用。利用多种波型发展了多种结构、多种材料的表面声波传感器,在气体和液体环境下,应用于物理、化学和生物方面的参量传感 和检测。

poYBAGL_Sm2AdyZUAAB92RDPJPM608.png

审核编辑:汤梓红

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 传感器
    +关注

    关注

    2545

    文章

    50439

    浏览量

    750955
  • 表面声波
    +关注

    关注

    0

    文章

    5

    浏览量

    9939
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    线性传感器工作原理

    线性传感器是一种检测装置,其工作原理基于输入与输出之间成线性关系的特性。以下是对线性传感器工作原理的详细解释:
    的头像 发表于 10-21 16:10 306次阅读

    体温传感器工作原理是什么

    体温传感器是一种用于测量人体温度的设备,它在医疗、健康监测、工业和环境监测等领域有着广泛的应用。体温传感器工作原理主要基于温度与某些物理量(如电阻、电压、电流等)之间的关系。 体温传感器
    的头像 发表于 09-25 10:06 316次阅读

    声波传感器和声音传感器的区别

    声波传感器和声音传感器这两个术语在很多情况下可以互换使用,因为它们通常都用于检测和测量声波的存在和特性。然而,它们之间还是存在一些细微的差别,这些差别主要体现在它们的
    的头像 发表于 09-19 16:37 334次阅读

    声波传感器是模拟还是数字

    的设计和应用需求。 超声波传感器工作原理声波传感器工作原理基于超
    的头像 发表于 09-07 11:34 382次阅读

    声波传感器工作原理解析

    一、超声波传感器工作原理声波传感器通过发射产生高频超
    的头像 发表于 08-20 10:59 846次阅读

    磁性传感器工作原理是什么?

    我们的生活带来了极大的便利,下面,就为大家详细介绍一下磁性传感器工作原理,希望能为大家带来参考。 磁性传感器工作原理是什么? 磁传感器
    的头像 发表于 03-08 08:36 1493次阅读

    高压传感器工作原理 高压传感器的特点

    高压传感器工作原理 高压传感器的特点  高压传感器是一种应用广泛的传感器类型,可测量液体或气体中的高压。它们通常用于工业自动化、汽车工业、
    的头像 发表于 03-07 14:37 2501次阅读

    磁阻效应传感器工作原理

    磁阻效应传感器工作原理  磁阻效应传感器是一种常见的磁性传感器,它的工作原理基于材料在外加磁场作用下的电阻变化。磁阻效应
    的头像 发表于 03-06 15:54 1256次阅读

    声波传感器工作原理声波传感器声波频率是多少

    声波传感器是一种常用的非接触式测距传感器,以其精确测量距离、高可靠性和广泛应用而受到广泛青睐。超声波传感器
    的头像 发表于 02-21 15:30 2100次阅读

    声波传感器工作模式有哪些

    自动化、汽车、航空航天、医疗、消费电子等领域。 超声波传感器工作模式主要有脉冲回声模式、连续波模式。 脉冲回声模式(Pulse-Echo Mode):这是最常见的超声波
    的头像 发表于 02-16 10:21 1015次阅读

    感应传感器工作原理 感应传感器怎么安装接线的

    感应传感器是一种能够感知物理量并将其转化成电信号输出的装置。它的工作原理基于物理量与电信号之间的转换。感应传感器通常由
    的头像 发表于 02-14 18:12 5962次阅读

    声波液位传感器工作原理声波液位传感器型号

    声波液位传感器是一种常用于测量液体或固体物料高度的装置。其工作原理基于超声波传播和回波反射的原理,通过发送超声波脉冲并测量回波的时间来确定
    的头像 发表于 01-30 09:52 1502次阅读

    压电式超声波传感器工作原理 压电式超声波传感器探头主要由什么组成

    压电式超声波传感器工作原理: 压电式超声波传感器利用压电效应来通过声波的传输和接收实现测量。压电
    的头像 发表于 01-19 11:27 2454次阅读

    声波传感器工作原理声波传感器的应用

    声波传感器是一种基于超声波的无接触式测距传感器,可以广泛应用于工业、医疗、军事等领域。本文将详细介绍超声波
    的头像 发表于 01-18 14:04 1469次阅读

    声波传感器声波频率是多少

    声波传感器工作原理、应用领域、声波频率及其影响因素等相关内容。 一、超声波传感器
    的头像 发表于 01-16 09:47 1510次阅读