在2020合集第154页,有IMEC对锗硅电吸收调制器,锗硅探测器的一个可靠性分析,给出的内部温度分布和失效界面。
这里有个疑问,“锗和硅的界面,为什么只是在右侧温度高导致失效,而不是全部的锗硅界面?”
额~~~,这个疑问在我看起来好像不需要解释,像人每天都要呼吸空气一样,P型半导体的电阻大,所以更热。
既然聊到这里,今天略写几句。
在硅波导(蓝色)上,放置锗单晶层,如下所示的紫色区域。有纵向PIN,也有横向PIN,(因为分类较多,可参考行业报告-用于光模块的硅光集成芯片技术与市场中的相关章节)。
合集中154页,IMEC是横向PIN结构,无锗接触,我用这个来解释
首先硅刻蚀相应的形状,且后期做杂质掺入,形成P型半导体和N型半导体,
P型半导体中,原子共价键不满,形成了部分“空穴”
N型半导体,则是有多余的自由电子。
当锗吸收了光的能量,价电子被光从原子核外层击落,形成自由电子,原子核留下了“空穴”,这些载流子们在外加电场的作用下,被收集形成电流。
无论是P型半导体,还是N型半导体,电流的形成都是由“电子”移动形成的。
N型半导体中的电子流动,是直接形成的流动。
而空穴实际上是不动的,它就是“缺”外层价电子的一个“空洞”而已,空穴的移动是等效移动,本质依然是自由电子在电场的作用下移动,宏观上好像“空穴”在反向移动。
N型半导体,是自由电子直接移动
P型半导体,是空穴间接移动,所以迁移率不如N型半导体那么好。
同样的掺杂浓度,P型半导体电阻比N型半导体更大。串联电阻产生的热量与电流与串联电阻有关,电流一样,电阻有差异,串联电阻产生的热量就有了分布不均匀的现象。
在P型半导体的电流路径中,也就是右侧,电流在锗和硅的界面,二者晶格不适配,出现暗点/暗线,这个界面在内热的状态下,更容易裂开,接触电阻更大,热量更集中,热熔融就极易发生在这里。
审核编辑 :李倩
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原文标题:Y8T248 为何硅光集成探测器的失效界面在P型界面
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