为何半导体和面板行业需要加热马甲

安装加热马甲的前因

由于半导体生产常常需要使用各种化学气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气，这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理，以减少对环境的污染。因此，在半导体制造机台中，尾气处理装置是半导体加工中的必备工具。在等离子体干法刻蚀过程中，气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，经过在真空反应室内的一系列反应后，气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶，因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上，极易对排气管进行堵塞，同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不彻底，同时提高生产成本。

需要加热马甲的部门

DIFF、ETCH、CVD、EPI部门，Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。

加热马甲作用

通过升高管路工作温度，减少管内介质结晶，避免管路堵塞，减少PM周期，提高产能。

加热马甲温度要求

PVD：150°-170°（也有180°） ETCH：80°-120°

加热马甲常见问题（摩尔机电）

问题1：为什么是120度 不是90度 不是200度？

答：Display(面板) Etch部门以IPS和INVENIA 设备为例，常规设备工艺废气凝固点是80度和120度，所以一般设定120度。特例半导体行业存储工艺PVD工艺需170度( O-ring得耐高温全氟产品)，武汉某厂就使用180度（原因PUMPLINE弯头比较多，同时管道尺寸多数为4寸-6寸）。而无锡某外资12寸FAB只需要150度。（此公司要求管道以6寸为主，新FAB管道多数为直管，老FAB最多2个45度弯头）厦门某面板厂某些设备，现场实际情况，160度的情况下，管道结晶比较少，PM周期可以延长。

不过现在国内大多PVD 为150-170度，Etch 80-120度.

问题2：加热带是否均带UPS电源？是否可以停电 停电有什么风险在？

答：没必要一定配备UPS电源，停电后加热系统停止工作，管内介质会加速结晶，但是短时间（2-3天内）不至于引起堵塞宕机，有充足的维修缓冲时间。

问题3：如何防止超温一直加热问题发生 假设有超温一直加热发生 有什么后果 业内是否有案例？

答：加热设定和温感反馈双重温控，温度变化（低/高）、故障都有报警，无持续升温案例发生。

问题4：排风系统是否需要安装加热夹套

答：废气经Scrubber处理大部分易结晶物质，且排风系统管径相对较大，不易堵塞；出于成本考虑，排风系统一般不加装加热夹套。

问题5：加热带材质是什么材质，哪些种类可选，怎么选？

答：①加热夹克内外均为不燃材质，外层为耐高温特氟龙涂层布，一般用于Pumping line管路。

②加热带为硅胶裹覆，外包阻燃橡塑保温棉，一般用于Gas line。

问题6：加热夹克的维护保养流程是什么样的，平时做哪些点检？是否有寿命周期等等。

答：①因加热夹克安装后的工作装为静态，不需特殊维护保养，只需进行每日点检即可。监控报警或点检中发现部分单元故障，可更换备品，产品设计便于拆装，更换简单。

②寿命：5年

问题7：加热带和特气低蒸气压的加热带有什么区别？

答：加热夹克属于高温加热，工作温度120℃。特气管道加热属于低温伴热带，如BCL3加热温度35℃。

审核编辑 黄昊宇