N31系列直线压电马达的工作原理

N31系列直线压电马达是芯明天研发设计、生产及销售的一款纳米级精密运动产品。它具有三个行程范围可选，分别为25mm、50mm和100mm。可选配高精度光栅增量式编码器作为传感器，完成高精度的运动定位。

N31系列直线压电马达是采用压电陶瓷驱动，利用类似人行走的驱动原理，将压电陶瓷的高频微动的微小位移转换为直线压电马达平台的大行程、高精度运动。该系列直线压电马达具有大出力、闭环误碰后自动归位等优点。

为满足各种应用中XYZ三维大行程、高精度位置调节的需求，芯明天基于N31系列直线压电马达专门设计了一款三维运动的大行程、高精度直线压电马达。它的外观如下图所示。

XYZ三维直线压电马达

该XYZ三维直线压电马达是基于三台N31系列直线压电马达，XYZ三轴的行程分别为50mm、50mm、100mm。该产品经过实测XYZ向的精度均在1μm以内;运动速度可达4mm/s以上。测试过程中，XYZ三维直线压电马达每轴的运动都是通过芯明天E71系列压电伺服控制器进行驱动的，并通过配套上位机软件进行控制参数设置。

XYZ三维直线压电马达平台测试中

测试结果

下述测试结果是在0.5kg负载、20.8℃温度、31%湿度下测得。

项目	X向	Y向	Z向
行程	±25mm	±25mm	±50mm
线性度	0.526μm	0.942μm	1.377μm
重复度	0.645μm	0.611μm	0.681μm
分辨率	40nm	40nm	40nm
运行速度	4.186mm/s	4.185mm/s	4.577mm/s

从上方参数中可看到，X、Y、Z向的运动重复度分别可达0.645μm、0.611μm、0.681μm，可满足高精度的定位要求。

应用

N31系列一至三维直线压电马达，因其高精度，非常适用于半导体测试、晶圆检测、纳米压印、纳米计量、工业精密定位等领域。

定制设计

若您有大行程、高精度的需求，欢迎致电0451-86268790或17051647888，芯明天为您量身定制设计!

审核编辑：汤梓红