据外媒报道,格芯(Globalfoundries Inc.)日前获得3000万美元的联邦资金支持,用于在其位于佛蒙特州的晶圆厂开发和生产硅基氮化镓(GaN-on-Si)晶圆,该工厂目前每月可生产超过5万片晶圆。
报道显示,该笔拨款是2022财年综合拨款法案的一部分,来自于美国国防部可信访问计划办公室 (TAPO) ,自2019年以来,TAPO一直积极支持军民两用硅基氮化镓技术研发,新的款项将资助格芯采购设备并开始在8英寸产线实现硅基氮化镓量产。
与传统GaN-on-SiC等技术路线相比,硅基氮化镓选用的衬底成本与可及性有显著优势,GaN外延生长缺陷也显著降低。
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