哪些部件与组件需要执行SEMI F57的评估

什么是SEMI F57

SEMI Standard

SEMI是国际半导体产业协会，SEMI Standard主要是为半导体制程设备，提供一套实用的环保、安全和卫生准则，SEMI F57规定了适用于在超纯水系统中输送超纯水的超高纯度聚合物材料和部件的最低性能要求，针对聚合物材料和组件的性能验证。

超纯水和湿化学品输送系统

材料适用性评估

半导体先进制程要求工艺使用的超纯水，超纯化学品的纯度越来越高，污染物水平越来越低，用于超纯水，超纯化学品运输和储藏的系统和部件不能带入污染。虽然在超纯水与化学品的质量都有相对应的标准与规范，大部分都是末端标准，对其各个组件的制造商来说，是无法直接应用的。目前在SEMI系列规范中，SEMI F57是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方面进行规范和建议的文件，让超纯水和湿化学品输送系统材料的适用性评估有所参考依据。

· 哪些部件与组件需要执行SEMI F57的评估

· SEMI F57离子污染标准

· SEMI F57金属污染标准

· SEMI F57总有机碳 (TOC）标准

· SEMIF57表面粗糙度标准

SGS服务内容

SGS 协助聚合物材料及其组件制造商与化学品与超纯水系统供货商及各大光电半导体厂符合 SEMI F57 以下的测试要求。

Quantitative Measures of Compliance

定量要求

Particle Contribution Limits

颗粒限值

Metallic Contribution Limits

金属元素限值

Ionic Contribution Limits

离子限值

Particle Contribution Limits

颗粒限值

Total Organic (Oxidizable) Carbon Contribution Limits

总有机碳限值

Surface Roughness Limits

表面粗糙度限值

Qualitative Measures of Compliance

定性要求

Mechanical Properties 机械性能

Physical Properties 物理性能

Chemical Resistance 耐化学性

Reliability,Traceability Requirements

可靠性、可追溯性要求

Packaging Requirements, Certification包装要求、认证

审核编辑 ：李倩