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一文详解离子束工艺技术

二次离子质谱（SIMS）是一种分析方法。具有高空间分辨率和高灵敏度的工具。它使用高度聚焦的离子束（通常是氧气或（无机样品用铯离子）“溅射”样品表面上选定区域的材料。

喷射出的“二次离子”通过质量。分光计，它将离子按照它们的质量/电荷比，实际上提供了化学物质分析一个很小的取样量。

编辑：黄飞

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离子束

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原文标题：聚焦离子束工艺技术详解(178页PPT）

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