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传感器的发展通史

传感器技术 来源:北京物联网智能技术应用 作者:北京物联网智能技 2022-12-02 09:22 次阅读

导读:传感器通信、计算机被称为现代信息技术的三大支柱和物联网基础,其应用涉及国民经济及国防科研的各个领域,是国民经济基础性、战略性产业之一。当前倍受国际关注的物联网、大数据、云计算技术,乃至智慧城市中的各种技术实现,对于传感器技术的需求也是巨大。

美国首先进入传感器时代

科技,让人类的能力圈不断扩大。如果说,机械延伸了人类的体力,计算机延伸了人类的智力,那么,无处不在的传感器,大大延伸了人类的感知力。

早在20世纪80年代,美国就宣称世界已经进入了传感器时代。早在20世纪80年代初,美国就成立了国家技术小组(BGT),帮助政府组织和领导大公司、国有企业和机构的传感器技术的发展。在保护美国武器系统质量优势的关键技术中,有八项是被动传感器。2000年,美国空军列举了15项有助于提高21世纪空军能力的关键技术,其中传感器技术排名第二。

美国的发展模式遵循先军工后民用、先改进后普及的发展道路,其特点是显著的:

(1)重视传感器功能材料的研究;

(2)重视传感器技术的发展。美国霍尼韦尔公司的固态传感器开发中心每年投资5000万美元在设备上,目前拥有计算机辅助设计、单晶生长、加工、图形发生器、分步重复摄影、自动喷漆。最先进的成套设备和生产设备。每三年左右更新n条线路,例如胶和光刻、等离子体蚀刻、溅射、扩散、外延、蒸发、离子注入化学气相沉积、扫描电子显微镜、封装和屏蔽动态测试。只有这样,才能保证技术的领先水平。

(3)重视工艺研究:传感器的原理不难,也不保密,最机密的是工艺(制造)。许多评价传感器不是一般的工业产品,而是完美的工艺杰作。在美国,大约有1300家生产和开发传感器的制造商,以及100多个研究所和学院。

传感器,不是 KOC 那种的新造词,而是一个非常传统的常用词汇,大家在新华词典中就可以轻松找到。英文称 Sensor 或是 Transducer。“传感器”在新韦式大词典中定义为:“从一个系统接受功率,通常以另一种形式将功率送到第二个系统中的器件”。根据这个定义,传感器的作用是将一种能量转换成另一种能量形式,所以不少学者也用“换能器-Transducer”来称谓“传感器-Sensor”。

简单来说,传感器就是一种检测装置,通常由敏感元件和转换元件组成,可以测量信息,也可以让用户感知到信息。通过变换方式,让传感器中的数据或价值信息转换成电信号或其他所需形式的输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

传感器技术发展经历的三个历史阶段

“传感器就好像是人的五官。”中科院微系统所传感技术联合国家重点实验室主任李昕欣表明,人类在计算机的时代,解决了大脑的模拟问题,相当于用0和1实现了信息的数字化,利用布尔逻辑解决问题;现在是后计算机时代,开始模拟五官。

传感器(transducer、sensor)往往又被称为换能器,功用是把其他信息转换为电信号。它通常由敏感元件和转换元件组成,能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。可以说,是传感器让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。

传感器的发展,最早是来自工业自动化的推动。

出于提高效率的目的,工业生产开始由中央控制室控制各个生产节点上的参量,包括流量、物位、温度和压力四大参数,催生了传感器的发展。这个趋势从上世纪70年代开始,到现在也是传感器应用最多的一种形式。

清华大学精密仪器系教授董永贵表示,在传感器这一概念“出现”之前,早期的测量仪器中其实就有传感器,只不过是以整套仪器中一个部件的形式出现。所以,中国在1980年以前,介绍传感器的教科书叫做“非电量的电测量”。

传感器概念的出现其实是测量仪器逐步走向模块化的结果。此后,传感器从整套仪器系统中独立出来,单独作为一个功能器件进行研究、生产、销售。

传感器的发展经历了三个阶段:

第1代是结构型传感器,它利用结构参量变化来感受和转化信号。例如:电阻应变式传感器,它是利用金属材料发生弹性形变时电阻的变化来转化电信号的。

第2代传感器是70 年代开始发展起来的固体传感器,这种传感器由半导体、电介质、磁性材料等固体元件构成,是利用材料某些特性制成的。如:利用热电效应、霍尔效应、光敏效应,分别制成热电偶传感器、霍尔传感器、光敏传感器等。

70年代后期,随着集成技术、分子合成技术、微电子技术及计算机技术的发展, 出现集成传感器。集成传感器包括2种类型:传感器本身的集成化和传感器与后续电路的集成化。例如:电荷耦合器件(CCD),集成温度传感器AD 590,集成霍尔传感器UG 3501等。这类传感器主要具有成本低、可靠性高、性能好、接口灵活等特点。集成传感器发展非常迅速,现已占传感器市场的2/ 3 左右,它正向着低价格、多功能和系列化方向发展。

第3代传感器是80年代刚刚发展起来的智能传感器。所谓智能传感器是指其对外界信息具有一定检测、自诊断、数据处理以及自适应能力,是微型计算机技术与检测技术相结合的产物。80年代智能化测量主要以微处理器为核心,把传感器信号调节电路、微计算机、存贮器及接口集成到一块芯片上,使传感器具有一定的人工智能。90年代智能化测量技术有了进一步的提高,在传感器一级水平实现智能化,使其具有自诊断功能、记忆功能、多参量测量功能以及联网通信功能等。

目前国际上缺乏制定国际标准的准则与规范,尚未制定出权威性的传感器标准类型。只能划分为简单的物理传感器、化学传感器和生物传感器等大的类别。

物理传感器应用的是物理效应,将被测信号量的微小变化转换成电信号,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。化学传感器则是以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器。近年来,出现了利用各种生物特性做成的生物型传感器,用以检测与识别生物体内化学成分。

例如,物理传感器有:声、力、光、磁、温、湿、电、射线等等;化学传感器有:各种气敏、酸碱PH值、离子化、极化、化学吸附、电化学反应等现象等等;生物传感器有:酶电极和介体生物电等等。在产品用途和形成过程中的因果关系互相咬合,既不能划分到物理类,也不能划分为化学类,难以严格划分。

另外,用传感器分类和命名方式,主要有以下几种类型:

(1)按转换原理可分为物理传感器、化学传感器和生物传感器。

(2)按传感器的检测信息来分可分为声敏、光敏、热敏、力敏、磁敏、气敏、湿敏、压敏、离子敏和射线敏等传感器。

(3)按照供电方式可分为有源或无源传感器。

(4)按其输出信号可分为模拟量输出、数字数字量输出和开关量传感器。

(5)按传感器使用的材料可分为:半导体材料;晶体材料;陶瓷材料;有机复合材料;金属材料;高分子材料;超导材料;光纤材料;纳米材料等传感器。

(6)按能量转换可分为能量转换型传感器和能量控制型传感器。

(7)按照其制造工艺,可分为机械加工工艺;复合与集成工艺;薄膜、厚膜工艺;陶瓷烧结工艺;MEMS工艺;电化学工艺等传感器。

不过,“模拟人的五官”,只是传感器的一个比较形象的说法。传感器技术发展相对成熟的,还是工业测量中经常用到的如力、加速度、压力、温度等物理量。对于真实人的感觉,包括视觉、听觉、触觉、嗅觉、味觉,从传感器的角度来看,大部分不是很成熟。

“视觉、听觉可认为是物理量,相对好一些,触觉就比较差一些,至于嗅觉及味觉,由于涉及到生物化学量的测量,工作机理比较复杂,远未达到技术成熟的阶段。”他说。

传感器的市场,其实是由应用推动的。比如,化学工业中,压力、流量传感器市场相当大;汽车工业中,转速、加速度等传感器市场非常大。基于微电子机械系统(MEMS)的加速度传感器现在技术较为成熟,对汽车工业的需求拉动功不可没。

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是指可批量制作的,集微型机械结构、微型传感器、微型执行器、通信等于一体的微型器件或系统。它体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高,适于批量化生产,易于集成和实现智能化,同时也能实现某些传统机械传感器所不能实现的功能。

共性基础工艺与三大技术创新趋势

众所周知,由于敏感机理、敏感材料不同,加之工业现场环境、使用场景,以及被检测介质与个性化参数、结构等复杂性要求等特点,长期以来传感器一直处于多品种小批量生产状态,结合工艺技术的分散性、复杂性影响和设备装置价格昂贵等因素制约,业界称其生产过程为制造“工业工艺品”。各国工程技术人员围绕着工艺技术协同、融合,在产品规范化、性能归一化、功能集成化、结构标准化,以及工艺设备和工装夹具的产业化方面展开了长期的技术开发与创新,形成了一大批不同特色和特点的技术成果。

在美国硅谷传感器领域,围绕着以MEMS工艺技术为基础,根据不同行业和功能的需求,展开的不同封装结构的各种传感器产品创新,已经持续了近25年,形成的千奇百怪、五花八门的各种类型传感器产品,应用领域不断扩展,得到了各行业的广泛认同与接受。

正如硅谷MEMS工艺技术创始人丹尼斯先生所说:“20多年来,硅谷传感器产品一直都是围绕着以硅基材料为主体的MEMS芯片和不同行业领域的市场应用需求,开展不同结构形式的封装的产品竞争与创新”。因此,MEMS工艺技术是各种类型传感器的共性基础工艺技术,被业界称之为传感器创新源泉。2011年,美国行业认为MEMS工艺已经成熟,可以广泛推广应用,确立并形成了传感器产业围绕MEMS工艺技术和应用两大方向创新与突破:

一是敏感机理创新与工艺突破。提高了MEMS工艺技术在材料与工艺结构等基础理论与应用水平,比如在晶体与非晶体、各种半导体材料应用;在硅-硅键合工艺、硅薄膜工艺、金属薄膜工艺等多个领域的工艺技术创新,大大提高了产品生产的微型化、低成本、复合型、集成度等产业化基础水平。

二是智能化水平提高和应用创新。在多功能集成化、模块化构架、嵌入式能力、网络化接口等形成了创新与突破。极大地改善了产用难以对接的矛盾,搭建了生产制造与市场应用桥梁与技术通道,突破了行业在生产和应用长期形成的技术壁垒和发展瓶颈。同时也提高了各行业的产品自主选择和应用设计能力,大大刺激了应用需求,拓展了市场空间。

从美国传感器产业发展来看,呈现几个特点:

一是在共性基础技术上下功夫,并注重新技术、新工艺创新应用,不断提升品质。

二是强调传感器网络化、智能化节点技术、能量捕捉技术及协同创新。

三是核心技术都有政府管控、扶持、资助与推动的影子。

四是重点推广应用领域的引领与带动作明显。如军事工业、装备制造、物流、生态环境监控(森林防控)、移动医疗、智能家居等。

产业化生态体系与环境建设

借助共性基础技术和工艺,建立生产可柔性化、工艺规范化、产品标准化的生产体系,寻找产品的配套市场,彻底改变技术和市场的孤岛化、碎片化问题是传感器产业化的关键之处。根据MEMS工艺技术和产品市场应用特点,温敏、声敏、力敏、光敏、气敏、磁敏、频率等7大类型产品符合产业化技术特点和市场规模化需求,可实现产业化规模生产。

另外,以硅麦克风为代表的声敏传感器已经在国内外形成了十大主流特色品牌产品和商家(其中有瑞声、歌尔国内两家企业),实现了产业化规模生产;温、湿度传感器美国、德国、瑞士、日本、中国等国家都有规模化生产能力,在未来发展中温湿度将复合在其他物理量传感器之中,比如,力敏、磁敏可同时检测温湿度参数;频率含RF射频、毫米波等共性工艺技术接近、而参数、功能、应用差异较大的产品,可在同一厂家实现产业化。特别是在手机、智能交通、生物感知等应用领域具有爆发式增长,具有较大的诱惑力。射频器件95%仍是欧美厂商主导,甚至没有一家亚洲厂商进入。为了打破行业垄断现象,这将成为未来技术创新与竞争的焦点。

与国外相比,我国传感器产业发展缓慢主要是认识上的差距所致。对传感器带有偏见和片面的认识,缺乏国家战略认识高度。由于传感器分属不同行业和部门,存在多头管理,在发展上难于取得共识,管理乱象,政策支持缺乏力度导致产业分散,产品不能成为系列化;1200多家企业中95%以上属于小微企业,一方面缺乏足够的人力、物力、工艺技术条件等资源配置,产业化基础薄弱;另一方面市场准入门槛过高,缺乏相应的应用开发和技术创新能力,产品整体技术水平和参数性能指标,特别是可靠性、稳定性指标与国外同类产品相比要低1~2个数量级,无法满足市场对企业资质和配套能力的要求。第三是缺乏龙头企业引领和行业带动,缺乏国际化品牌、市场影响力、竞争优势和基础研究能力,导致行业内专业化企业数不足3%;核心芯片大都依赖进口,中高档产品几乎100%进口。整体工艺技术水平落后国外先进国家10~15年。

针对国内外产业现状对比和行业特点及存在问题,结合传感器技术工艺特征,业内期待在经济、技术优势和发达地区,聚集国内外数十家以上的传感器专业性公司和科研院所,组成具有产品技术工艺特色和产业化规模优势,以及国际市场影响力的产业集群或基地,形成年销售额1000亿元人民币(150亿美元)以上,并以年增长大于20%速度增长的国际化传感器特色产业园区。形成以敏感元器件为核心,智能化、网络化、模块化等集成应用为创新主体,物联网、智慧城市为应用目标的产业链构架(产业生态),同时具备政、产、学、研、用、服六维一体生态环境,实现产业化集群式发展,形成我国传感器“双生态”产业链,具有产业特色明显和区位优势突出的国际传感器产业园——即“传感谷”。

传感器的崛起历程及行业发展现状

苹果新一代手机iPhone 6和智能手表的亮相,让全球众多苹果手机的追随者又有了一次彻夜排队的理由。赋予苹果手机越来越强大功能的,不仅是越来越强大的芯片,更重要的是手机上越来越多、越来越精良的传感器。

数年前,当乔布斯拿着苹果手机“晃一晃”就可以让它有所反应的时候,手机的智能化时代真正开始了。几年后,手机从一种通讯工具变成了一个人们离不开的伙伴。

让手机具备这样“魔力”的,是触摸屏、陀螺仪、加速度计等各式各样的传感器。

——触摸屏是一种电容触摸传感器。用于感受手机位置和运动的,是陀螺仪和加速感应器。当你接电话把耳朵贴到屏幕上时,让屏幕变暗并关闭触摸屏的是红外线接近传感器。根据环境光线强弱自动调节屏幕亮度的,是环境光传感器。当然,还有用于导航的“指南针”——磁阻传感器,以及用光电传感器制作的摄像头。

在9月9日的发布会上,最大的亮点还是苹果在传感器运用上的突破。iPhone 6手机增加了集合多种传感器的动作协感应器,可以用来测量海拔高度的气压传感器,可以实现指纹支付的近场通讯模块和指纹传感器。iWatch背后的四个环状传感器,原理是通过LED光照射到皮肤上形成反射,以此判断血管的运动、检测佩戴者的脉搏。

不仅仅是手机,在汽车、家用电器、可穿戴设备上,以及工业自动化领域,越来越多的传感器成为机器的“耳目”。

普通公众了解甚少的是,即将给人们生活方式带来更大变化的物联网,其最核心的基础技术也是传感器。有科学家预言,传感器将像“人体的五官”一样,在未来充满各个领域和空间。

当下,随着物联网时代的开启,各式各样的传感器正成为无处不在的神经元,全球对于传感器的需求也开始呈现爆发性的增长。但是,在这一次盛宴开启的前夜,业界又遗憾地发现,中国似乎又落伍了。

在德国的博世,美国的霍尼韦尔、飞思卡尔这些传感器巨头享受它们“厚积薄发”带来的收益时,中国企业如何从中分一杯羹?

外企厚积薄发

传感器在技术水平和功能上的迅速发展,一方面来自于计算机、检测等技术的发展,另一方面则源于应用领域需求的驱动。

2004年,摩托罗拉的半导体部门从摩托罗拉独立出来,成立飞思卡尔半导体公司,为汽车、消费、工业、网络和无线市场设计并制造嵌入式半导体产品。短短几年内,飞思卡尔就成为世界最大的半导体公司之一。

飞思卡尔迅速成功的最大理由,是手握来自摩托罗拉的数千项专利。这些专利有些可能来自几十年前,但是其厚重的积累终于换来了近年的爆发。

飞思卡尔部分重要的产品就是各类传感器。包括用于导航、动作捕捉的加速度传感器、磁力计,满足了医疗设备、导航设备、移动终端对高度精确的电子罗盘功能的需求。

近年来,在汽车领域,用于检测由于坠落、倾斜、运动、定位、振动和冲击等产生的力的变化的加速度传感器,被广泛用于安全气囊系统、电子稳定控制系统、电子泊车制动系统等解决方案。

基于MEMS的压力传感器可以测量大气压也可测量血压、胎压,为家电、医疗、消费电子工业控制和汽车市场提供了强大的解决方案。

运动传感器结合压力传感器,可以用来监控卧床不起的患者,测量呼吸和心率,甚至在患者试图下床时向护士站报警,寻求帮助。

MEMS传感器的运用绝不仅限于手机,电脑、汽车、导航甚至电熨斗、运动装备中随处可见它的身影,比如导航仪在没有卫星信号的隧道可以判断是否可按惯性轨迹行驶,笔记本电脑在掉落时可自动开启硬盘保护程序,电熨斗在高温平放时自动切断电源等等。

“2008年乔布斯就拿着手机晃了一晃,就带来了加速度传感器市场的爆发。”无锡感芯半导体(consensic)副总经理张毅对财新记者说。但是,在他看来,压力传感器的市场将会更大。

他说,压力传感器与其他传感器不同在于,市场应用高度碎片化。压力传感器上世纪70年代已经被开发出来,几十年里应用遍布世界各个角落,但是因为距离老百姓生活比较遥远,不那么广为人知。压力传感器在汽车的胎压监测、油压监测、一些高端家电上应用非常广泛,未来将在智能产品上获得更多应用。

随着技术的进步,让压力传感器的成本降得足够低,把过去应用于军事、工业上的高端传感器,最终将应用到智能终端上。

“很多传感器过去是用在飞机上的,现在用到了手机上,比如加速度传感器、磁力计、气压计、陀螺仪。”张毅说,随着iPhone 6和iWatch上实现了气压计的应用,压力传感器的市场被打开了,未来会有大幅度上升,未来五年会有10亿美元以上的增量。

有了气压计,人们所在之处的海拔高度就可以被精确识别;用于室内导航的话,就可以进行楼层识别;在为汽车导航的时候,就可以分辨汽车是在在高架上还是高架下,而且随着气压计更多的进入移动终端,就可以让每个人都成为气象终端,进行个性化的气象预报。

随着材料科学的进步,人们可制造出各种新型传感器。例如用高分子聚合物薄膜制成温度传感器,光导纤维能制成压力、流量、温度、位移等多种传感器,用陶瓷制成压力传感器。

高小龙说,如今我们会看到传感器集成更多智能,并且需要更加紧密地将传感器与单片机和数字网络产品相互集成。传感器需要更多的分层智能,以便解决电力保存、安全性和连接性问题。随着即将来临的物联网应用浪潮,传感器系统会变得更加复杂、更具背景和环境感知能力。“幸运的是,我们所有身在其中的人将会感觉更加有趣。”

李昕欣介绍,从现在传感器的能力来说,有些地方还达不到五官的能力,但是有些能力能够超过,比如监测爆炸物的传感器。从传感器的发展趋势上看,需要解决功耗、体积、造价和寿命问题,让传感器越来越小,越来越便宜,功耗越来越低,每个人都可以有、可以大量占有。

现在博世、意法半导体、霍尼韦尔、飞思卡尔、日立等传统的电子制造业巨头,都把传感器作为未来业务的主要增长点,目前MEMS传感器年产值在200亿美元左右,但增长十分迅猛。

“现在很多公司都对传感器感兴趣,最重要的是如何设计一种产品,如何让用户接受传感器所带来的服务。”他说。

“每年20%的工业自动化的传感器的更换,这不是最伟大的市场。”他说,最伟大是历史上从来没有的市场,谁也没想到陀螺仪可以用到手机里,原来根本不敢有这个奢望。但是苹果就实现了,这才是更加宝贵的第一桶金。

中国传感器差距

传感器作为现代科技的前沿技术,被认为是现代信息技术的三大支柱之一,也是国内外公认的最具有发展前途的高技术产业。

然而,在传感器迎来春天的时候,中国公众看到的似乎仍然是国外半导体巨头的盛宴。

业内人士认为,虽然中国的传感器市场发展很快,但本土传感器技术与世界水平相比仍存在很大差距。

这种差距,一方面表现为传感器在感知信息方面的落后,另一方面,则表现为传感器自身在智能化和网络化方面的技术落后。由于没有形成足够的规模化应用,导致国内的传感器不仅技术低,而且价格高,在市场上很难有竞争力。

董永贵教授介绍,中国大致从1980年以后开始重视传感器技术的研究。经过多年的努力,在传感器研究方面的发展水平还算是比较好的。但是,在产品化方面的技术进步还不是很理想,很多传感器技术,其实国内的实验室研究水平并不是很差,可惜未能充分利用,没有转化为进入市场的成熟产品。

他说,传感器技术的研究需要比较长时间的投入,一款传感器的研发,要6年-8年才能成熟,一般中国企业都承受不了这么长的周期。中国企业更难以承受失败,而传感器的研究失败的风险很高。

根据董永贵在日本访问时了解到的情况,日本企业支持的研发中,很多形不成产品,但是企业能够承受,10项中只要2项-3项能够变成产品就行。

“相比之下,我们很多企业都是准备去拿别人现有的东西。”董永贵说,这种思路是有问题的,包括我们总是希望引进国外现成的、有自己项目的人才。“都不准备养鱼,而是捞一条鱼来。”

相比于比较大型的仪器设备,传感器在产品化过程中需要的投资一般不是很大,所以比较适合小型企业投资。在这方面,中国应该是有优势的。然而,如果从另外一个方面考虑,这也是一个短处。

传感器行业的一个特点是,传感器本身技术含量高,但单只传感器的价格一般不高。此特点导致的一个结果是,尽管传感器的技术附加值高,但单纯依赖传感器很难形成可观的产值。

按照董永贵教授的比喻,传感器有点像中药里的“药引”,本身功能很重要,但真正形成规模还需要依赖整服药剂才行。国外很多传感器公司一旦在某种传感器上有突破,很快会有相关的测量仪器开发出来。

“国内的企业在后续技术研发能力相对要差一些。”他说。

李昕欣表示,其实我们研究上不是差很多,但是一到产业化就出现很多问题,虽然许多原始创新国外还是带着我们走,更重要的是产业化的步伐太慢。技术上,中国的微制造的产能很大,容易实现批量制造,但是创造性还是差一些,如果把设计上的能力提高上去,产能才能发挥更大的作用。

无锡感芯半导体主要产品集中在压力传感器领域,其负责人张毅介绍,国内做类似产品的比较多,但真正有规模的只有一两家,因为产品种类非常多,测试比较困难,投资比较大,产业链非常长,手工测试很难满足消费电子客户的要求。

“要满足需求量大的应用,必须走标准化的测试设备,流程非常好,投资会非常大。”张毅说。

而且,在中国的专利保护机制下,传感器中辛辛苦苦研发出来的关键技术,往往呈现一种“诀窍”性质,被抄袭后,很难说清楚,企业也打不起官司。国内虽然也有MEMS传感器企业,但都是委托加工,搞不好就被加工企业自己拿去做了,目前的企业创新体系有很大的问题。

2012年的时候,一位国内传感器领域的前辈在一次会议上说,为什么中国传感器事业发展不好,就是缺乏能够到国务院讲课的领袖人物,这个领域研发的时间长,显著度不够,本身是很小的东西,所依据的物理现象是几十年、上百年前就发现的。

这位学者指出,这种研究实际上非常辛苦,比如说有一种加速度传感器,在石油行业中用于地震波测量,所依据的是苏联几十年前提出的原理,但是直到这位专家在苏联解体后,到了美国才形成产品得到应用。

“越是需要厚积薄发、广种薄收的领域,我们差距越大。”董永贵认为,现在差距有进一步拉大的趋势。

全球传感器行业相关实业公司

精密电子-美国MEAS传感器公司已经掌握了世界领先的EMS制造技术,专业生产各种传感器。产品广泛用于航天、国防、军工、机械设备、工业自动控制、汽车电子、医疗、家用等行业。联通、暖通空调、石化、空压机、气象探测、仪器仪表等领域。公司率先在工业上实现硅微机电系统的批量加工技术,率先将LVDT商业化,率先将压电薄膜技术转化为低成本的商用传感器和生命特性。聚砜

主要传感器产品:压力和动压传感器、位移传感器、倾角位移传感器、霍尔编码器、磁阻传感器、加速度传感器、振动传感器、湿度传感器、温度传感器等。

霍尼韦尔国际是一家在技术和制造方面领先的跨国公司。公司成立于1935年,并加入霍尼韦尔和霍尼韦尔传感与控制战略部,是世界上首家开发STC3000智能压力传感器,技术领先的企业。目前拥有近60万个产品20多个系列,用户30万。近半个世纪以来,霍尼韦尔的传感与控制部以其优良的产品质量和可靠性,以及持续的技术创新赢得了世界声誉。

主要传感器产品:扩散硅压力传感器、变送器、陶瓷电容式压力变送器、扩散硅陶瓷电容式液位变送器、数字压力表、压力校准器等。

爱默生电气公司于1890年在美国密苏里州圣路易斯成立,当时是电机和风扇的制造商。经过100多年的努力,爱默生从一个地区性的制造商成长为一个全球性的技术解决方案集团公司。它是《财富》杂志全球500强企业,在中长期电子行业中排名第一、第二。

罗克韦尔自动化公司是具有百年历史的大型工业自动化公司,在全球工业自动化电源、控制和信息技术解决方案领域处于领先地位,1988年进入中国,在上海设有生产基地。罗克韦尔自动化为中国制造业提供世界级的产品和解决方案、服务支持和技术培训。同时,罗克韦尔自动化还在采矿、水泥、起重机和船舶应用、地铁、半导体、水处理和污水处理、轮胎、石油等各个工业领域为客户提供专家支持。石油化工、冶金、汽车、食品饮料、电力能源等。

主要传感器产品:压力传感器、温度传感器、电容式接近传感器、电感式接近传感器、光电传感器、超声波传感器等。

通用电气(GE)是一家多元化的技术、媒体和金融服务公司。它也是世界著名的传感器制造商之一。公司致力于不断创新、创新、再创造,为客户解决问题。GE由四个主要业务集团组成,每个集团包括多个共同发展的部门。GE的产品和服务范围从飞机发动机、发电设备、水处理和安全技术到医学成像、总线。商业和消费金融,媒体和工业产品。

美国零售公司是世界上最大的非接触式红外温度计的制造商之一。红外测温仪的销售量居世界同行业之首,公司拥有13个系列的红外测温仪、温度传感器和数百个品种。温度测量范围包括:-50~3000℃。RAYTEK(零售)红外温度计广泛应用于设备故障诊断、冶金热处理、电力、铁路、食品等诸多领域。

PCB是世界知名的传感器和测量仪器制造商。公司成立于1967年,致力于压电测量技术的研究、开发和产品制造。它的第一个ICP传感器(集成电路电荷放大器)享誉世界。加速度、压力、力、扭矩传感器。相应的测量仪器广泛应用于航空、航天、船舶、武器、核工业、石油化工、液压、电力、轻工、交通、车辆等领域。

主要传感器产品:加速度、压力、力、扭矩、冲击、振动、声学、模态和水声测量传感器及配套仪器设备。

邦纳公司总部位于美国明尼苏达州,是世界一流的自动化技术专家和全面解决方案提供商,经过40年的发展,创新一直被视为产品应用和研发的源动力。

在压阻式压力传感器领域处于领先地位。该产品的温度范围可以达到-40150,为各种应用提供高性能的解决方案。该公司是世界上最大和最强大的专业传感器制造商。可提供各种常规传感器和本质安全(防爆)、防振称重传感器、各种称重元件、显示控制器和各种耐高温(200~50℃)变送器(包括多级防爆装置)。美国及产品已进入60多个工业化国家。

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德国把发展军事传感器作为优先发展技术。德国的传感器充分发挥了老工业强国的固有优势,然后凭借自身的品牌声誉、技术研发和质量管理优势,与德国制造商进行整合,其产品的市场竞争力将不可避免地显著提高。重视原材料成本节约和人力资本投资,保持产品技术领先,保持较高的市场占有率。

西门子在中国市场一直很活跃,在工业、能源和医疗领域处于领先地位。公司致力于产品开发和制造,设计和安装复杂的系统和工程,并定制一系列解决方案。同时,它也是具有优秀传感器的世界知名传感器制造商。质量。

WIKA是国际压力和温度仪表市场的知名公司,年营业额近5亿欧元,全球约有3.5亿台测量仪器由WIKA生产,在供应高质量测量仪器的同时,公司还为客户和整体提供相关的综合解决方案。把它们带入客户的生产过程中。

爱普科斯开发、制造和销售电子元器件模块和系统,专注于快速增长的尖端技术市场,包括汽车电子、信息和通信技术、工业电子和消费电子。产品在全球市场处于领先地位。

第一传感器技术公司于1999年从柏林科技大学核心研究部分离出来,凭借其雄厚的技术实力、创新精神、对客户需求的准确把握和对员工的高度责任感,成为压力传感技术市场的领导者。通过对压力传感器的研究,使产品最高工作温度提高到225℃,年产压力传感器芯片数百万片,拥有100000~10000个超净车间。

德国Baluff公司成立于1921年,是世界领先的传感器制造商。其产品包括BNS系列完整的电子和机电行程开关、BOS光电开关、BES电感接近开关、电容器开关、BMF磁开关、BTL线性位移传感器、RFID识别系统和各种插件产品。在机械设备领域,为用户提供创新和经验丰富的传感器应用。

本集团成立于20世纪60年代初,在美国、瑞士和中国设有分公司,在英国、荷兰、比利时、日本等国家和地区设有分公司和办事处,已发展成为一家专业的跨国集团公司。ce接近开关传感器,工业现场总线,本质安全的隔离栅格和各种工业快速连接器

主要传感器产品:电感、磁感应、电容式接近开关传感器、光电传感器、本质安全隔离安全栅、流量开关传感器、各种总线用连接器等。

贝加福是世界上最著名和最大的传感器公司之一。公司成立于1945年,于1958年向世界引进了具有革命意义的第一代电感传感器,并成功地应用于化工、石油等行业,从电感传感器到超声波传感器,从光电传感器到腐烂传感器。从识别系统到现场总线系统,从液位、料位传感器到安全屏,从防爆传感器到安全栅和隔离栅,各种传感器都有专门的研究和高质量的产品。

主要传感器产品:电感/电容/磁接近开关、距离/距离传感器、光电传感器、编码器、视觉传感器、拍摄传感器、倾斜传感器、超声波传感器等。

史克公司成立于1946年,现已在全球40多个国家设立分公司,传感器种类繁多,产品质量优良,2008年销售额超过7亿欧元。

主要传感器产品:超声波传感器、电容/电感/电磁接近传感器、磁柱传感器、色标传感器、荧光传感器、颜色传感器、距离传感器等。

公司成立于1986年,通过ISO 9001认证,引进先进的自动化ERP物流仓储管理系统,秉承德国公司严谨务实的风格。产品质量可靠。产品经过100%的测试,投入了大量的研发资金,并取得了多项专利成果,UL光电式反火传感器等产品已成为传感器行业的标准产品。

主要传感器产品:聚焦/对比度/反射传感器、可编程彩色标签传感器、电容式标签传感器、电感环形传感器、环形/角度叉形光栅传感器、接近开关等。

Sensortechnics是德国知名的精密压力传感器制造商,现隶属于AugustaTechnologies。该公司可以提供从1毫巴到1000毫巴的产品。该公司开发和制造压力传感器和传感器系统、液位传感器和开关,以及氧传感器和流量传感器。并专门生产传感器和高度定制的复杂集成遥感系统,为客户提供OEM流体控制系统

主要传感器产品:流量传感器、气体传感器、压力传感器、分析传感器、温度传感器等。

英飞凌科技有限公司总部位于德国纽比堡,为现代社会三大技术挑战提供半导体和系统解决方案:高能效、连通性和安全性。英飞凌每年将17%的销售额用于研发,并在全球拥有22900项专利。英飞凌是全球领先的sem公司之一。公司生产具有优良性能的半导体传感器。

公司成立于1986年,是世界上厚膜技术电子设备的领先制造商。公司拥有广泛的业务领域,以满足企业和用户的特殊需要。公司的客户覆盖汽车工业、电子工业、医药等行业。

主要传感器产品:线性和旋转传感器、陶瓷和不锈钢压力传感器、金属箔传感器等。

瑞士凯勒测量技术有限公司是世界著名的扩散硅压阻式压力传感器制造商,具有强大的研发能力和完整的产品系列,从低成本的工业型到高精度型,以满足实验室要求。产品广泛用于航空、船舶、火车、汽车等领域。压力测量系统、工程机械、石油、石化、电厂、环保、冶金、空调等领域。

主要传感器产品:扩散硅压力传感器、变送器、陶瓷电容式压力传感器、变送器、扩散硅陶瓷电容式液位传感器、变送器、数字压力表、压力校准器等。

E+H公司成立于1953年,总部设在瑞士雷纳奇。在德国、瑞士、法国、美国、日本等世界工业国家建立了大规模的生产中心。公司拥有70家独立子公司,分布在世界各地,公司的质量管理和完善的质量保证体系已达到ISO 9001国际标准。

在过去的几十年里,宝梦集团作为国际领先的传感器供应商赢得了全球声誉。长期以来,它一直为工厂和工艺自动化应用提供创新的高质量传感器产品,具有丰富的基于各种传感器技术的标准产品组合。

主要传感器产品:光电传感器、电感传感器、电容传感器、超声波传感器、力/应变/压力传感器、磁传感器等。

MEMSENS是一家专业从事压力传感器和压力变送器的开发和制造的瑞士公司。目前,公司已向市场推出两种产品:OEM压力传感器和压力变送器。技术服务,主要服务内容是提供传感器技术开发和咨询。公司位于瑞士微电子和微加工技术中心。它周围有欧洲和世界知名的大学和研究机构,并与它们有着密切的联系和合作。

公司从事陶瓷厚膜技术工程师多年。1989年,微特公司成立了传感器部,具有独立开发陶瓷压力传感器的能力。自上世纪90年代中期以来,微特公司成立了欧洲集团公司,专注于技术生产。蚂蚁在德国、法国和意大利都有分支机构。Microtel是国际微电子和封装学会的成员,并参与欧洲研究和发展计划。

数据逻辑自动化部门是全球工业领域自动识别系统的主要制造商之一。为客户提供更全面的自动化解决方案,包括工业传感器、工业安全防护、自动条码扫描系统、机器视觉系统、RFID技术解决方案等。其著名的T.、TL80、TL10、S60-W、S50-W等彩色标签传感器系列产品在世界彩色标签传感器行业中占有领先地位。阿贝尔传感器市场。

主要传感器产品:彩色标签传感器、微型传感器、管状传感器、反射荧光传感器、彩色传感器、微型传感器、光纤颜色传感器等。

Gefran集团总部位于意大利,在全球拥有六家制造工厂,在生产和应用熔体压力传感器方面具有一定的优势。

主要传感器产品:线性位移传感器、张力传感器、熔体压力传感器、压力传感器、温度传感器、相对湿度传感器等。

日本是传感器技术的十大技术之一。日本商人声称控制传感器技术主导的新时代。日本非常重视与传感器技术的开发利用和被列为国家重点发展的六大核心技术有70个关键的科学研究。项目由日本在上世纪90年代制定的科学与技术系,18种是传感器技术密切相关,日本强调的是实用性和商业化推广并改进,第一,从引进、消化、模仿到自我完善和创新设计。前者花费更多,而后者花费更少,速度更快。研发方面,约有800个厂家生产,在日本开发的传感器。

横河电气是世界知名的测量、工业自动化控制和信息系统的领导者。自1915年成立以来,它一直致力于为用户提供先进的专业技术,以支持客户进行商业效率改革。测量仪器部门是其测量的核心。ng技术,具有高稳定性、高可靠性的产品和始终领先的测量技术,与安藤电气公司合并,进一步拓展了通信测量仪器的生产领域,在信息处理领域也充分发展了尖端技术。目前,医学影像信息系统已经在许多医院得到应用,为支持医疗、医疗领域的信息化做出了贡献。

欧姆龙集团拥有数十个产品,涉及工业自动化控制系统、电子元器件、汽车电子、社会系统和卫生医疗设备等领域,是世界著名的自动化控制和电子设备制造商。它拥有世界领先的核心传感和控制技术。

富士电气集团通过创造经济效益,使企业集团价值最大化,以对社会、股东和投资者的贡献为经营基本原则,为了实现这一目标,从10月份开始实行全业务分割为子公司的纯控股公司制。2003年,通过专业公司的自筹资金和快速运作,形成了行业内实力最强的专业公司。公司的硅电容式传感器和变换器具有独特的技术解决方案,特别是在静压保护领域。

随着工业自动化的快速发展,KEYENCE作为传感器和测量仪器的主要供应商,不断开发和制造更新更可靠的产品,以满足各种制造业的需要。在其行业中处于领先地位。

主要传感器产品:光纤传感器、光电传感器、数字激光传感器、接触传感器、RGB颜色传感器、接近传感器、压力传感器等。

与国外先进国家相比,我国传感器技术研发滞后了10年,生产技术落后了15年,近年来,传感器技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室和机器人国家重点实验室的研究开发基地有:建立了敏感元件和传感器产业。目前,我国已有1688家企业从事传感器生产和研究。国内传感器生产厂家在增加品种、提高质量和经济上投入巨资,应以经济效益为目标,加快传感器产业化进程,努力使近年来国内传感器和仪表元器件市场占有率达到70~80%,高端产品达到60%以上。

1995年,经国家计委批准,国家传感器工程研究中心设在沈阳仪器科学研究所。是国内唯一从事传感器技术工程研究和生产试验的国家机构,专业从事MEMS技术、硅微芯片、机械热磁传感器和传感器等传感器的基础技术和工程技术的研究。硅基力敏、微机电传感器、变送器及相关仪器的专业生产线。公司拥有传感器CAD设计中心、传感器可靠性测试中心、专用工艺设备及200多套仪器及配套标准生产现场和实验室基础设施,掌握并具备设计、加工、包装、测试、快速研发等核心技术和能力。以及从传感器敏感芯片到传感器及相关仪器及整机产品的大批量生产。主要传感器产品:力/热/磁传感器、变送器等。

深圳清华大学研究所

1996年12月,深圳市政府和清华大学本着优势互补、联盟强大的原则,联合成立了深圳清华大学研究所,探索了产学研一体化的新模式。深圳力河高科技有限公司(简称清华力河)是由清华大学研究所创办的高新技术企业,公司已成功实现石英谐振力传感器的产业化,是国家八、九五计划重点科研项目。产权方面,已被国家计委列为国家高新技术产业化示范基地。

汉威电子是一家专注于气体传感器、检测仪器研发、生产和销售的高科技企业。河南省拥有100家高成长性民营企业和制造信息示范企业,拥有自主知识产权的气体传感器和气体检测仪器,并已形成家用商业、个人防护、工业在线监测、环保等一系列气体检测产品。裂解、采矿安全、废气酒精含量检测及工程监控系统,拥有丰富的产品线。2009年10月,公司成功上市于深圳证券交易所创业板市场,产业链条齐全,是国内外知名的气体检测产品专业制造商。

北京昆仑海岸传感技术中心是以中国科学院力学、声学、航天部等大型科研单位为依托,与清华大学等高校形成长期科研合作的大型专业工业控制企业联盟集团。专业设计、生产、销售传感器、变送器、各种测控仪表、热工仪表、现场控制器、计算机控制系统。数据采集系统、各种环境监控系统、专用控制系统应用软件及嵌入式系统开发与应用通信、电力、石化、环保、造纸、冶金、食品、医疗、暖通空调等领域的产品具有广阔的应用前景。主要传感器产品有:温湿度变送器、压力压差液位变送器、位移、称重、电传感器等。

天津中环温度计有限公司,是一家专业生产工业热电偶、热敏电阻和膜片压差变送器的厂家。是一家集产品研发、生产、销售、系统工程安装为一体的高新技术企业。

公司注册资金2000万元,具有电子工程专业三级承包资格。公司位于国家级天津东丽开发区,占地面积20000平方米,标准化厂房14000平方米。公司已通过ISO 9001:2000国际质量体系认证和NQA国家质量体系认证。

今天,德国、日本、美国、俄罗斯等老工业国家仍活跃于国际市场,在这些国家,传感器应用广泛,许多厂家已实现大规模生产,一些企业的年生产能力可达数千万甚至上亿。相比之下,中国的传感器应用还比较狭窄,更多的还停留在航空航天和工业测控领域。根据相关数据,中国最大的传感器公司的年产值只有55000。此外,高精密、精密的传感器和新型传感器的市场是几乎被外国品牌或合资企业垄断。

但现在我们国家的传感器正面临着历史上最好的时期。有巨大的市场需求和国家政策支持。一方面,国内许多企业都在努力开发自己的新技术,企业的管理模式也得到了很大的改进。另一方面,来自国际AMA的德国传感器协会也参与支持。传感器的质量、价格和功能将是国内企业未来改进的重点领域。将来,国内传感器将经历从工业过程测试到功能转换的过程。国内企业将更有效的学习自己的长处和短处,以便尽快与国外企业站在同一起跑线上,朝着小型化、网络化和规格化迈进。传感器现代化。我们期待着未来的中国传感器取得巨大成果,而我国的传感器企业还有很长的路要走。

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原文标题:传感器发展通史简述

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