使用PLTS去嵌方法和探针校准片SLOT校准测试结果对比

使用PLTS去嵌方法和探针校准片SLOT校准测试结果对比

01.测试硬件设备

E5071C Keysight---校准软件：PLTS

4端口20GHz网络分析仪，带TDR选件。

适合测试20GHz以内的S参数、阻抗 频域、时域、信号。

02.测试环境

03.校准片介绍

探针校准片外观

S代表短路（short），L代表负载（load）， O代表开路（open）， T代表直通（Thru），校准时根据网分SLOT校准步骤依次将探针分别连接对应的校准模块。本次测试的DUT如上图红框所示

04.测试说明

测试一：先将网分与线缆校准后，然后连接两个探针测试DUT，将两个探针的S参数、两个探针+DUT的整体S参数分别导出，然后使用PLTS校准软件将探针本身S参数去嵌，得到单独DUT的S参数。

测试二：将线缆连接好两个探针，使用探针校准片进行SLOT校准，校准完成后再将两个探针连接DUT，直接测得DUT的S参数。

05.测试一

第一步：将port1和port2上连接的两个GSG探针对接校准片上的thru校准模块上，测得两个探针本身的S参数，测试结果如下图所示：导出两个探针的S参数文件2PRO-S。

--测试结果--

第二步：将port1和port2上连接的两个GSG探针对接校准片上的DUT上测得两个探针和DUT的整体S参数，测试结果如下图所示：导出整体S参数文件2PRO+DUT。

测试结果

第三步：将第一步得到的S参数文件2PRO-S导入plts中，用plts将2PRO-S分成左右两个S2P文件用于去嵌，具体操作如下图所示，点击APPLY后得到两个S2P文件， 2PRO-S_1和2PRO-S_2，用于后续去嵌操作。

第四步：将第二步得到的S参数文件2PRO+DUT导入plts中，用plts将左右两个探针的S参数去嵌掉，只保留DUT的测试结果，具体操作如下图所示，点击APPLY后得到只包含DUT的S参数结果。

测试一

去嵌后测试结果

插损测试结果

回损测试结果

06.测试二

探针校准片SOLT校准过程

第一步：将port1和port2上连接的两个GSG探针分别对接校准片的O（open）、 S（short）、L（load）、 T（Thru）进行校准，具体操作如下：

Open校准

Short校准

Load校准

Thru校准

单击Done，完成校准

SOLT校准完成后检验校准质量

校准完成后，将两个GSG探针连接到探针校准片的thru模块上，然后查看S21及S11性能；校准频段内，其中S21性能在0.05dB以内，S11性能在50dB以下，表示校准质量非常高；本次校准满足S21<-0.05dB，S11>-50dB，校准质量非常不错。

测试二

使用探针校准片校准测试结果

插损测试结果

回损测试结果

07.去嵌法和探针校准片校准两种方法得到的测试结果对比

结论：

插损：20GHz时，使用两种方式得到的DUT插损测试结果基本一致，相差0.07dB。

回损：DC-20GHz内，去嵌方式测得的回损最大值比校准片校准的回损最大值小0.51dB，去嵌方式回损性能略优于探针校准片校准的回损性能，相差不大；但整体的测试曲线走势有较为明显的差异，分析原因是电子校准件和探针校准片的阻抗存在些许差异。

审核编辑：汤梓红