由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式。这意味着,首台ASML光刻机搬入,中国首座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心即将投入生产;与此同时,ASML也通过实际行动表明了自己不放弃中国市场的态度! 为了遏制中国科技发展,美方不仅施压荷兰光刻机制造商阿斯麦(ASML)禁止向我国出售14nm及以下工艺的DUV光刻机,还一直试图要求该公司禁止对华销售部分旧款光刻机,以及所有制造芯片所需的主流技术。 要知道,目前全球只有ASML能够生产先进的EUV光刻机,但ASML的光刻机汇集了世界高端技术的结晶,其中自然用到了很多含有美国设备的技术,所以ASML自由出货被美方拿捏得死死的。 不过,现在传来一则好消息,ASML针对自由出货不愿意再妥协了——近日,由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式。 这意味着,首台ASML光刻机搬入,中国首座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心即将投入生产;与此同时,ASML也通过实际行动表明了自己不放弃中国市场的态度!


据悉,建设包括FAB生产厂房(含洁净室)、OS生产调度及研发大楼、CB综合楼、WH仓库、CUB动力站等大型群体工程。其中,FAB生产厂房作为本工程最大规模单体,建筑面积达104085.98平方米。 待该项目全面达到预期产能后,可实现年产能约36万片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圆片,主要生产MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件产品。同时,还将同步推动建成芯片设计、5G智能硬件和AI/IOT模块设计的研发总部,助力上海成为国际一流的半导体和5G产业创新高地。



原文标题:首台ASML光刻机搬入!中国首座12英寸车规级功率半导体晶圆厂将投产!
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