自动化DC测量概述
凭借 FormFactor 的Contact Intelligence技术,操作员可以在整个班次中(整夜甚至整个周末)开始测试并让系统保持测量状态,而无需任何用户干预。探针经过动态校正,以补偿温度变化时探针或设备的任何热膨胀,可实时准确地扎到pad上。Contact Intelligence模块通过电动针座优化在小pad上扎针,自动变温测量,和自动调整探针在Sub-Die中的位置,实现7X24小时不间断作业。Test Executive软件可以轻松调用单个DUT探针布局和多个DUT布局,以实现完全自动化。接触智能系统负责所有复杂的热过渡自主管理,以及探针到Pad对准(PTPA)的热稳定时间优化。这样就可以在更短的时间内测试更多的器件,并且在DC测量中具有更高的一致性,从而获得更准确的数据和更快的上市时间。
当与新的噪声测试设备(闪烁噪声,RTN,相位噪声)集成时CM300xi-ULN该系统为超低噪声探测提供了业界最高的测试吞吐量,并在低至30µm的小pad上具有低接触电阻。所有功能都进行了优化,以确保不降低超低噪声性能。
自动化DC的主要特征:
Contact Intelligence
简单易用-不太有经验的操作人员也能通过简单地揿下一个按钮完成 DC 测量。这降低了让有经验的用户在每个系统上都花费全部时间的需要。
缩短了稳定时间–如果探针偏离了与pad对准的状态,则系统将自动把它们重新对准,这样可减少测试时间并增加吞吐量。
无人值守式的使用-可在夜间或周末将测量作业置于运行状态,在不同的温度下测试晶圆上的所有器件,并不需要操作人员的干预。
审核编辑黄昊宇
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