随着半导体行业的飞速发展,半导体材料的纯度越来越高,半导体材料对痕量杂质的容忍度越来越低,已经发展成为专门性的半导体级痕量杂质分析技术。
季丰电子因应市场需求,已正式收购了江苏赛夫特的检测业务,建立起完整的痕量杂质分析平台,专门服务于半导体领域的高级需求。
季丰痕量分析实验室在原赛夫特检测实验室基础上扩建而成,测试项目涵盖半导体材料的痕量杂质,半导体生产所用超纯化学品的痕量杂质,痕量离子及无尘室VOC等等。欢迎新老朋友前来参观、交流!
主营业务
痕量金属测试能力
对半导体生产中的化学品进行痕量杂质测试,如UPW、HF、HCl、HNO3、H2SO4、H3PO4、NH4OH、Wafer表面、Wafer本体、BOE、SC1、SC2、DEV、H2O2、IPA、NMP等进行痕量分析(ppt level);可测试金属有Li、Na、Mg、Al、 K、 Cr、 Mn、Fe、 Ni、 Pb、 Co、 Ca、 Ga、 As、 Cu、 Zn、 Ag、 Ba、 Tl、 B、 Bi、 Cd、 In、Sr、 W、 Si、 Ti等;1ppt级别的检测能力;同时可做同位素分离等。
(左上Angilent ICP-MS 8900、左下WSPSVPD 实验机台、右边Angilent ICP-OES5800) 对半导体生产中的WAFER 正表面和背表面进行金属测试(VPD-ICP MS)。可测试金属有Li、Na、 Mg、 Al、 K、 Cr、 Mn、 Fe、 Ni、 Pb、 Co、 Ca、 Ga、 As、 Cu、 Zn、 Ag、 Ba、 Tl、 B、 Bi、 Cd、In、 Sr、 W、 Si、 Ti等。10^8atom/cm2级别的检测能力。
痕量离子浓度测试能力
(ThermoFisher ICS6000) 离子测量有F-、Cl-、NO3- 、SO42-、PO43-、NH4+等。10ppt级别的检测能力。
(瑞士万通 905 双通全自动电位滴定仪酸碱+氧化还原) 可精确定量半导体原材料,生产工艺过程中的化学品浓度。如:Slurry、BOE、TMAH、 SC1、SC2 等化学品浓度。
(瑞士万通 852 卡尔费休库仑双通道水分仪)
可以精确定量半导体原材料,生产工艺过程中化学品中水分含量从0.01%-1%都能精准测试。 GC-MS 应用:分析来自FAB环境样品中的VOC含量(VOC:Volatile Organic Compound)
(Agilent 5977-8860+TD100 热脱附) 傅里叶变换红外分析仪是用来分析WAFER中的C、O整体浓度分布的仪器。 分析原理:全光谱吸收对比,精度PPM-PPB。 即可以单点浓度分析,也可以面扫描分析。
(Nicolet iS50 FTIR)
化学实验室测试能力
至此,季丰已在全国各地先后成立了10余个实验室、研发办公室、工程量产生产线,总面积40000多平方米。为了建立强大的工程技术中心,季丰斥巨资完善各类验证分析的仪器设备和材料分析设备,企业团队规模也增加了20倍,每年的复合增长率都超过80%,业务范围覆盖软硬件设计、精密机械、仪器设备、特种测试、极速封装、失效分析、可靠性认证、材料分析等8大领域,涉及半导体、光伏、电子湿化学等领域。
季丰的市场天花板在不断提升,服务的企业数量从200家增加到近2000家,未来还能做更多的设备及服务,欢迎新老客户前来参观、委案。
季丰电子
上海季丰电子股份有限公司成立于2008年,致力于集成电路及相关领域内的软硬件及设备研发与专业技术服务,为客户提供一站式的综合解决方案。公司的四大业务版块包括:基础技术中心、硬件软件方案、特种封装测试、仪器设备研发。
季丰电子通过高新技术、专精特新小巨人、研发机构、公共服务平台等企业资质认定,通过了ISO9001、ISO17025、CMA、CNAS等认证。总部位于上海,在浙江、北京、深圳、成都等地设有分公司。
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原文标题:季丰再添新业务,加快建立痕量杂质分析平台
文章出处:【微信号:zzz9970814,微信公众号:上海季丰电子】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。
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