作者:Anthony DeSimone and Siddharth Tallur
与现有的压电加速度计相比,MEMS加速度计具有低成本、重量、功耗和易用性等特点,是工业机械基于振动的状态监测的有吸引力的候选者。这些功能允许设备制造商嵌入多个MEMS加速度计,以检测机器各个部件中的振动信号,随后通过识别偏离正常的振动模式来诊断异常和早期故障。虽然这些模式对于不同的机器和传感器的安装位置是独一无二的,但该技术广泛依赖于从加速度计感应到的振动频谱中收集信息,并监测振动音调频率的变化、谐波的开始以及宽带振动幅度的变化,特别是频段 (1)。
使用带数字输出的加速度计时,设计人员必须考虑信号链中数字滤波器施加的带宽限制,并且还要警惕高频信号在给定输出数据(采样)速率下混叠到传感器带宽中。对于采样率 S,由于折叠,频率 f(其中 f < S/2)的振动信号与较高频率 S/2 + f 的信号无法区分。在状态监测应用中,这可能导致对机械振动曲线的误解。
例如,以ADXL355和ADXL354为例,这两款加速度计旨在以极低噪声进行高分辨率振动测量,以便通过无线传感器网络及早检测结构缺陷。ADXL355中的内部数字滤波器会导致带外频率混叠,内容与加速度计带宽内的频率。例如,对于在 4 kHz ODR 下工作,高于奈奎斯特速率 (2 kHz) 的 1 kHz 频率带宽将出现混叠。这对于高于3 kHz的频率尤其重要,该频率将与加速度计(1 kHz)带宽内的频率混叠,从而导致对输出的错误解释。滤波器和传感器谐振的组合导致混叠为1 kHz的3 kHz信号衰减~25 dB,如图1所示。考虑到R = ±8 g测量范围,噪声密度N = 25 μg/√Hz和带宽BW = 1 kHz的加速度计的动态范围为:
图1.ADXL355输出混叠与数字滤波引起的频率的关系
3 kHz至3.9 kHz之间所有频率的衰减小于动态范围,因此混叠信号将大于加速度计本底噪声。对于带宽较小的应用,ADXL355可以通过对输出进行数字滤波来使用,以将带宽限制在较低频率,从而使混叠信号的衰减高于应用所需的动态范围。如果应用需要监测振幅高于特定阈值的振动音,使得所需的动态范围为30 dB(±8 g至±8 mg),则可以使用数字滤波器将带宽限制为750 Hz(例如,4千订购巴特沃兹滤波器)在输出。如果应用中对混叠信号的衰减要求大于ADXL355的实际响应,建议改用ADXL354。由于ADXL354没有任何内部数字滤波器,因此不会出现混叠现象。
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