1WIREBONDING**
引线键合是一种芯片到封装的互连技术,其中在芯片上的每个 I/O 焊盘与其相关的封装引脚之间连接一根细金属线。细线(通常为 25 μm 厚的 Au 线)键合在 IC 焊盘和引线框或封装和基板焊盘之间。引线键合是电子封装中最重要和最关键的制造工艺之一。引线键合的优点是:
- 高灵活性,因为它是一个点对点的过程
- 低缺陷率或高良率互连处理
- 高可靠性互连结构
- 支持该技术的大型工业基础设施
- 设备、工具和材料技术的快速进步
引线键合互连的缺点包括:
- 由于每个焊线的点对点处理,互连速率较慢
- 芯片到封装的互连长度长,降低电气性能
- 芯片到封装互连所需的占用空间更大
芯片焊盘是铝(或者是铜)。封装焊盘接口可以由金属化引线框架(通常是铜基合金)、金属化芯片载体-有机层压板、聚合物薄膜或陶瓷或金属化印刷电路板组成。对于芯片载体,使用铜作为导体,先镀镍,然后镀金。
大批量生产中使用两种主要类型的引线键合:
i) 球键合(>95% 形成的所有引线键合)
ii) 楔形粘合
2球键合和楔形键合
球键合
最常见的引线键合技术(>95% 形成的所有引线键合),使用热超声焊接。主要优点:毛细管形键合工具是圆形的,因此可以以圆形实现键合头实现简单高速 x-y 运动。热超声球键合的基本步骤是:
- 在启动键合顺序之前,使用高精度视觉系统将芯片和引线框图案放置好。
1)在可控的毛细管键合力、中等温度,给导线和毛细管以超声波激发(60-120 kHz),与IC的键合焊盘形成球键合。
2)导线从毛细管中引出,形成导线环。现在在导线和封装引线框架或芯片载体之间形成新月形接合。
3) 再次放出导线,尾部断裂,电子火焰熄灭 (EFO) 点火以形成用于下一次键合的焊球。
楔形键合
大多数WB是在室温下用铝线完成的。然而,与传统的引线键合(使用金线并且在键合过程中必须施加热量)不同,在 WB 中,引线是在进行超声波键合的扁平或凹槽楔形工具下进行的,并且在形成第一个键之前,从第一个键到第二个键的线必须定向成直线。
它的优点:
最细的间距(以及更低的键合高度)的键合能力,主要是因为键合可以通过使线变形仅超出原始直径 25-30% 来形成,而球键合则为 60-80%。
楔形键合工艺顺序包括:
- 将焊接工具中的夹线移动到与IC键合焊盘接触,并通过超声波焊接形成芯片侧楔形键合。
- 将线材从毛细管中放出,通过提升楔形物形成线环。
- 将楔形物放置在封装键合位置上,并在导线和封装引线框架或芯片载体之间形成楔形键合。再次,施加超声波能量和受控的键合材料以形成楔离结合。
4)夹住导线后,楔块向前转动以使导线在楔离键的跟部断裂,并且键合循环在新的位置继续进行。
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