0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

白光干涉仪和共聚焦显微镜的区别

szzhongtu5 来源:szzhongtu5 作者:szzhongtu5 2023-02-21 18:04 次阅读

对于现代愈发复杂的工艺检测,诸如半导体电子封装及光学加工等产业中,由于表面微观轮廓结构的准确性决定着产品的功能和效能,所以不管是抛光表面还是粗糙表面的工件(诸如半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。

同为微纳米级表面光学分析仪器,白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点,都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能,适用范围广,可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。

1、测量原理

白光干涉仪是以白光干涉技术为原理,实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器;

pYYBAGPcd1aAW7BdAAI5ij2eqKA070.png

SuperViewW1白光干涉仪

pYYBAGP0lj6Aaa-LAABe2POAU5U857.png

共聚焦显微镜是以共聚焦技术为原理,实现器件微纳米级表面形貌测量的光学检测仪。

pYYBAGPkjj-Ad3GNAAJPh8IlARI656.png

VT6000激光共聚焦显微镜

poYBAGP0lluAFBOiAABaUwrJm6U870.png

共焦显微镜光路示意图

2、应用

白光干涉仪多用于测量大范围光滑的样品,尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的准确;(SuperViewW1白光干涉仪测量行程有140*100*100㎜,对于测量物体整个区域表面情况,还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈,在样品表面抽取多个区域测量,就可以快速实现大区域、高精度的测量,从而对样品进行评估分析。)

poYBAGP0lnuAHBPoAAGG1QtL8uE754.png

超光滑透镜测量

pYYBAGJp-qmAV0BlAABxoda6XQU206.jpg

自动拼接功能

pYYBAGP0loSAHi6aAAF0c85d1_o829.png

大尺寸样品拼接测量


而VT6000激光共聚焦显微镜更容易测陡峭边缘,擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊,但成像图色彩斑斓,便于观察。

poYBAGP0lpqATxTXAAHL0K4X6ac704.png

审核编辑黄宇

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 检测
    +关注

    关注

    5

    文章

    4535

    浏览量

    91913
  • 测量
    +关注

    关注

    10

    文章

    4991

    浏览量

    112059
  • 显微镜
    +关注

    关注

    0

    文章

    590

    浏览量

    23274
  • 干涉仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    87

    浏览量

    10205
收藏 人收藏

    相关推荐

    共聚焦激光显微镜对比超分辨显微镜

    显微镜技术的发展极大地推动了科学研究的进步,尤其是在细胞生物学和纳米科学领域。共聚焦激光显微镜(CLSM)和超分辨显微镜作为两种重要的显微
    的头像 发表于 10-30 09:42 918次阅读

    共聚焦激光显微镜的光学系统解析

    共聚焦激光显微镜(Confocal Laser Scanning Microscope,简称CLSM)是一种先进的显微成像技术,它通过使用激光作为光源,结合共聚焦技术,能够提供高分辨率
    的头像 发表于 10-30 09:40 829次阅读

    共聚焦激光显微镜工作原理

    在生物医学研究中,对细胞和组织的精确观察至关重要。传统的光学显微镜虽然能够提供一定的分辨率,但在深度和对比度上存在局限。共聚焦激光显微镜的出现,极大地提高了显微成像的质量,使得科学家能
    的头像 发表于 10-30 09:27 829次阅读

    测量表面粗糙度:白光共聚焦显微镜的优点

    白光共聚焦显微镜(复合型光学3D表面轮廓仪)集成了白光干涉仪和共聚焦
    发表于 10-14 11:43 0次下载

    测量表面粗糙度:白光共聚焦显微镜的优点

    越来越高。SuperViewWT3000白光共聚焦显微镜(复合型光学3D表面轮廓仪)应运而生,它集成了白光干涉仪和
    的头像 发表于 10-12 14:47 1413次阅读
    测量表面粗糙度:<b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>共聚焦</b><b class='flag-5'>显微镜</b>的优点

    共聚焦显微镜有什么用?

    在科学研究和精密制造领域,对材料表面特性的准确测量至关重要。共聚焦显微镜作为一种先进的显微成像技术,提供了一种非接触、高分辨率的表面分析手段。深圳市中图仪器股份有限公司推出的VT6000系列
    的头像 发表于 06-24 09:58 866次阅读
    <b class='flag-5'>共聚焦</b><b class='flag-5'>显微镜</b>有什么用?

    共聚焦显微镜:成像原理、功能、分辨率与优势解析

    在材料科学和精密工程领域,对微观结构的精确测量和分析至关重要。共聚焦显微镜作为一种高精度的成像技术,为这些领域提供了强大的工具。共聚焦显微镜成像原理
    的头像 发表于 06-14 09:28 1786次阅读
    <b class='flag-5'>共聚焦</b><b class='flag-5'>显微镜</b>:成像原理、功能、分辨率与优势解析

    共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区分

    共聚焦显微镜是一种光学显微镜,也可以被称为测量显微镜。在它用于精确测量样品的尺寸、形状、表面粗糙度或其他物理特性时,能够提供非常精确的三维形貌图像,这使得它成为测量样品表面特征的强大工
    发表于 05-14 10:43 3次下载

    显微成像与精密测量:共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区分

    共聚焦显微镜是一种光学显微镜,也可以被称为测量显微镜。能够进行二维和三维成像,是光学显微镜技术中较为先进的一种;因其高精度的三维成像能力,也
    的头像 发表于 05-11 11:38 1006次阅读
    <b class='flag-5'>显微</b>成像与精密测量:<b class='flag-5'>共聚焦</b>、光学<b class='flag-5'>显微镜</b>与测量<b class='flag-5'>显微镜</b>的区分

    激光共聚焦白光干涉仪哪个好?

    激光共聚焦白光干涉仪哪个好?在精密测量领域,激光共聚焦显微镜白光干涉仪是两种不同的高精度光学
    发表于 05-06 09:41 0次下载

    用于材料领域的共聚焦显微镜可以看到什么?

    用于材料领域的共聚焦显微镜可以观察和分析材料的微观结构和特征,具体包括以下几个方面:1.金属材料的微观形貌:共聚焦显微镜可以观察金属材料的表面形貌,如晶粒结构、夹杂物分布、表面磨损坑等
    的头像 发表于 04-25 09:17 694次阅读
    用于材料领域的<b class='flag-5'>共聚焦</b><b class='flag-5'>显微镜</b>可以看到什么?

    激光共聚焦白光干涉仪哪个好?

    在精密测量领域,激光共聚焦显微镜白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好,取决于具体的测量需求和样品特性。在选择适合特定应用的技术时,需要
    的头像 发表于 04-24 11:45 945次阅读
    激光<b class='flag-5'>共聚焦</b>和<b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>哪个好?

    激光共聚焦显微镜测粗糙度,解读表面粗糙度的科技利器

    激光共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope,简称LSCM)是一种光学显微镜,通过激光束的聚焦和散射技术,能够实现高分辨率的三维图像采集和表面测量。其在
    发表于 04-16 10:42 0次下载

    共聚焦显微镜和激光共聚焦显微镜区别详解

    。共焦显微镜通常使用白光或者非激光光源,不一定需要激光;激光共聚焦显微镜是一种特殊类型的共焦显微镜,它使用激光光源,并且通常具有更高的分辨率和灵敏度。激光
    发表于 04-16 10:40 0次下载

    共聚焦显微镜和激光共聚焦显微镜区别详解

    共焦显微镜通常使用白光或者非激光光源,不一定需要激光;而激光共聚焦显微镜通常用于获取三维图像和进行表面粗糙度分析等应用,对于要求更高分辨率和更精细结构分析的样品有更大的优势,如在材料科学等领域中用于高精度的三维表面形貌分析、颗粒
    的头像 发表于 04-07 09:45 1305次阅读
    <b class='flag-5'>共聚焦</b><b class='flag-5'>显微镜</b>和激光<b class='flag-5'>共聚焦显微镜</b>的<b class='flag-5'>区别</b>详解