0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

虹科技术 | UV-LED用于大基板紫外曝光系统

Hophotonix 来源:Hophotonix 作者:Hophotonix 2023-02-22 09:39 次阅读

光刻曝光是指利用紫外光源将胶片或其他透明物体上的图像信息转移到涂有光敏材料(光刻胶)表面以得到高精度和极细微图案的一种制作工艺,主要用于半导体生产、高精密集成电路PCB板制造、MEMS等行业。光刻技术是半导体工业和集成电路是最为核心的制造技术。

pYYBAGP1cTeAXp0nAABuchSbg8A730.png

半导体光刻行业主要使用的是紫外光源,包括i线(365nm)、h线 405 nm和 g线 436 nm。传统光刻技术中使用的大多数紫外光源是汞放电灯,因为这些光源结构具有较为稳定的输出强度和稳定度。但汞灯的工作寿命短,几个月就必须进行更换,维护成本高;汞灯内含有毒气体,在生产和使用过程中对人体和环境危害大;每次使用前必须进行预热,不能随用随开,并且光能转换率低。这些技术上的缺点成为制约汞灯大规模应用的主要原因。

pYYBAGP1cT-AOrD-AADDmebQR84992.png

伴随着十多年来半导体技术以及UVLED的热度,性能优异的UVLED光源为紫外曝光和光刻设备带来了革命性的变化。

与传统汞灯相比,UVLED光源能够持续且稳定地输出高功率的紫外光,工作寿命达上万小时以上,极大程度地降低了维修率和成本,并且安全性高,完全无有害重金属,电路控制简单且集成冷却系统。因此,UVLED光源取代传统的汞灯光源是一种必然的发展趋势。

现在的紫外光源系统可以实现为超高功率LED辐照系统,可取代传统的放电灯(汞灯)。 通常包含两个系统来使用:控制系统(CSS)和曝光系统(ESS),将控制系统和光源系统一分为二,提供高功率和紧凑性,易于集成到机器中。

曝光系统可与光导管、导光板等各种光学元件结合使用。采用分布式设计方法,其中控制子系统(CSS)与小面积曝光子系统(ESS)分离,直接集成到准直曝光设备(即掩模对准器)中。

pYYBAGP1cWyANHJPAABCNxcBA1U382.png

此外,先进的UVLED光引擎最多可内置4种LED,可输出多个波长(365 nm / 385 nm / 405 nm / 435 nm),并且可配置搭载多个相同波长的模块,实现高强度i线或g线输出。曝光光源系统遵循分布式设计方法,通常由一个控制子系统 (CSS)和一个单独的曝光子系统 (ESS)组成,ESS可直接接入到曝光系统中。

pYYBAGP1caCAKIAtAABAQs81Gt4213.png

高功率UV-LED光源系统可适用于曝光机、先进封装投影(***、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

审核编辑黄宇

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 半导体
    +关注

    关注

    334

    文章

    26996

    浏览量

    216170
  • 光刻
    +关注

    关注

    8

    文章

    318

    浏览量

    30113
  • 紫外
    +关注

    关注

    0

    文章

    48

    浏览量

    11628
  • UV-LED
    +关注

    关注

    0

    文章

    17

    浏览量

    2863
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    紫外线固化技术概述

    紫外线固化技术利用UV光引发聚合反应,快速固化材料,适用于印刷、电子、医疗等多个领域,提高生产效率和材料性能,正向高效、环保、多功能方向发展。
    的头像 发表于 11-21 09:14 90次阅读
    <b class='flag-5'>紫外</b>线固化<b class='flag-5'>技术</b>概述

    UV Test®荧光/紫外老化试验箱40瓦紫外荧光灯管

    Atlas的UV Test是一种用于荧光紫外和冷凝老化测试方法的经济实惠型紫外老化试验箱。该仪器将UVA-340、UVB-313或UVA-351紫外
    的头像 发表于 11-01 11:16 131次阅读
    <b class='flag-5'>UV</b> Test®荧光/<b class='flag-5'>紫外</b>老化试验箱40瓦<b class='flag-5'>紫外</b>荧光灯管

    紫外能量计的技术原理和应用场景

    紫外能量计是一种用于测量紫外辐射能量的高精度仪器。以下是对其技术原理和应用场景的详细阐述:一、技术原理
    发表于 10-15 14:42

    户外连接器极易被紫外线“霍霍”!解读LP系列连接器抗UV性能

    UV是对连接器性能构成影响的一大外部因素。UV,即是紫外线,普遍存在于户外阳光照射环境之中。对于连接器而言,尤其是用于户外环境中的连接器,其是否具备足够强的抗
    的头像 发表于 09-14 08:04 227次阅读
    户外连接器极易被<b class='flag-5'>紫外</b>线“霍霍”!解读LP系列连接器抗<b class='flag-5'>UV</b>性能

    银月光深紫外LED 环境监测光源新选择

    银月光科技采用氮化铝基板技术生产高性能深紫外LED,具有高光输出、长寿命等优势,适用于环境监测中臭氧、油水、CDOM及生物气溶胶等的快速检测
    的头像 发表于 08-19 10:26 232次阅读

    PHOTONIS紫外线相机 (UV)介绍

    Photonis 自豪地推出其最新的紫外线 (UV) 相机和核心,采用尖端技术设计,可满足各行各业的需求。我们的紫外线成像系统(
    的头像 发表于 08-12 06:14 478次阅读
    PHOTONIS<b class='flag-5'>紫外</b>线相机 (<b class='flag-5'>UV</b>)介绍

    友思特应用 硅片上的光影贴合:UV-LED曝光系统在晶圆边缘曝光中的高效应用

    晶圆边缘曝光是帮助减少晶圆涂布过程中多余的光刻胶对电子器件影响的重要步骤。友思特 ALE/1 和 ALE/3 UV-LED 高性能点光源,作为唯一可用于宽带晶圆边缘曝光的 i、h 和
    的头像 发表于 07-25 13:45 383次阅读
    友思特应用 硅片上的光影贴合:<b class='flag-5'>UV-LED</b><b class='flag-5'>曝光系统</b>在晶圆边缘<b class='flag-5'>曝光</b>中的高效应用

    人工光植物工厂 紫外LED光照系统 一般技术要求

    中国农业科学院制定《人工光植物工厂紫外LED光照系统技术要求》标准,旨在提升叶类蔬菜和茄果类蔬菜品质,UV-LED光源在植物生产中具有提升品
    的头像 发表于 07-25 09:11 339次阅读
    人工光植物工厂 <b class='flag-5'>紫外</b><b class='flag-5'>LED</b>光照<b class='flag-5'>系统</b> 一般<b class='flag-5'>技术</b>要求

    UV三防漆是UV胶吗?

    uv三防漆可以当uv胶用吗,UV紫外线)技术以独特的优势,比如快速固化、环保节能,成为众多领域的宠儿。
    的头像 发表于 07-21 10:50 464次阅读

    UV-LED革新印刷行业:固化设备引领绿色高效新时代

    与环保的完美结合  UV-LED固化技术,利用紫外线发光二极管(UV-LED)作为光源,通过瞬间发射的高强度紫外线,实现印刷油墨的快速固化。
    的头像 发表于 07-17 16:55 248次阅读

    友思特分享 完美聚光:用于光刻曝光UV-LED光引擎

    LED替代汞灯在紫外光源中的使用已成为大势所趋。友思特先进的 UV-LED-EXP 系统可作为OEM集成、汞灯光刻设备改造或直接定制光路设计和曝光
    的头像 发表于 06-26 16:16 498次阅读
    友思特分享 完美聚光:<b class='flag-5'>用于</b>光刻<b class='flag-5'>曝光</b>的<b class='flag-5'>UV-LED</b>光引擎

    UV LED固化机VS传统固化:一场技术与效率的对决

    之间的技术与效率对决。 首先,我们来了解一下UV LED固化机的工作原理。UV LED固化机采用LED
    的头像 发表于 05-21 15:05 522次阅读
    <b class='flag-5'>UV</b> <b class='flag-5'>LED</b>固化机VS传统固化:一场<b class='flag-5'>技术</b>与效率的对决

    LED UV固化箱的工作原理揭秘:为何它能实现快速固化?

    在现代化的工业制造和印刷领域,快速、高效的固化技术一直是业界追求的目标。LED UV固化箱作为一种新型的固化设备,凭借其独特的工作原理和显著的固化效率,正逐渐成为行业的佼佼者。那么,LED
    的头像 发表于 05-17 15:58 650次阅读
    <b class='flag-5'>LED</b> <b class='flag-5'>UV</b>固化箱的工作原理揭秘:为何它能实现快速固化?

    优化太阳能电池片性能:美能UV紫外老化试验箱的关键作用

    电池片的性能与耐久性直接影响太阳能系统的效率和可靠性。进行老化测试,尤其是紫外线(UV)老化测试,对于评估和保证电池片在长期环境影响下的表现至关重要。美能电池片UV
    的头像 发表于 04-29 10:00 2148次阅读
    优化太阳能电池片性能:美能<b class='flag-5'>UV</b><b class='flag-5'>紫外</b>老化试验箱的关键作用

    UV紫外激光打标机的优缺点是什么

    UV紫外激光打标机具有以下优点:1.精度高:紫外激光打标机的光束质量好,聚焦光斑小,可以实现在各种材料上进行超精细打标。2.速度快:由于紫外激光的独特特性,打标速度非常快,提高了生产效
    的头像 发表于 01-23 17:46 1241次阅读
    <b class='flag-5'>UV</b><b class='flag-5'>紫外</b>激光打标机的优缺点是什么