从微纳米到百米测量，中图仪器勇于创新智能精密测量检测技术

智能检测有两大优势：一是更智能、更精细、更高效；二是人力成本更低。生产线智能化将是制造业转型升级的重要发展趋势，智能检测技术也将广泛应用于工业自动化、航天、电子等行业。

2023年2月23日，工业和信息化部、国家发展和改革委员会等七个部门联合发布《智能检测装备产业发展行动计划(2023-2025年)》中提到，“智能检测装备作为智能制造的核心装备，是“工业六基”的重要组成和产业基础高级化的重要领域，对支撑制造强国、质量强国和数字中国建设具有重要意义。”针对我国智能检测装备产业仍存在技术基础薄弱、创新能力不强、高端供给不足等问题，中图仪器坚持以技术创新为发展基础，集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，勇于创新，着力突破从微纳米到百米测量的核心技术，坚持高质量出品，增强高端供给，打造质量强国。

勇于创新|中图智能精密测量仪器着力突破核心技术，增强高端供给

1、融合创新检测技术、新型制造工艺与前沿科技领域基础理论，研发生产一批前沿智能精密测量检测装备。

纳米级精密测量仪器

VT6000共聚焦显微镜

VT6000共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的光学检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1白光干涉仪

SuperViewW1白光干涉仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的光学检测仪器。它是以白光干涉技术为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

百米级精密测量仪器

GTS激光跟踪仪

GTS激光跟踪仪主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高精度和重要性，是同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。激光跟踪仪可用于尺寸测量、安装、定位、校正和逆向工程等应用，是功能强大的计量检测工具。广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在高端制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。

2、融合新技术，通过工程化攻关，升级换代一批应用面广的通用智能精密测量检测装备。

Hybrid系列复合式闪测仪

Hybrid系列复合式闪测仪是一种先进的全自动影像测量仪，基于大理石主体机台和精密伺服控制系统，采用电动变倍镜头和大视场双远心镜头的混合架构，充分发挥光学电动变倍镜头的高精度优势和大视场双远心镜头的效率优势，能实现精度和效率的优化组合测量。

Novator系列全自动影像仪

Novator系列全自动影像仪将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，能实现2.5D和3D复合测量。还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。创新支持多种测量新特性、新功能。

Mars Classic三坐标测量机

移动桥式的三坐标测量机结构特点是开敞性好，视野开阔，上下零件方便，运动速度快，精度高。配备高精度的导轨、测头和控制系统，并结合计算机程序来自动控制检测流程，从而计算输出测量结果，支持测头更换架以及影像相机，同时支持精密转台等，能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。可用于机械制造、汽车工业、电子工业、航空航天工业以及计量检测等领域，是现代工业检测和质量控制的重要检测设备。

3、融合新原理、新材料、新工艺，研制开发一批专用智能精密测量检测装备。加强新兴领域专用检测装备研制。

WD4000晶圆几何形貌测量系统

WD4000晶圆几何形貌测量系统可以在一个测量系统中自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、微纳三维形貌。使用光谱共焦技术测量晶圆厚度、TTV、BOW、 WARP等参数，同时生成Mapping图；采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面的2D、3D参数。可广泛应用于Wafer制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。

有图晶圆关键尺寸及套刻量测系统

有图晶圆关键尺寸及套刻量测系统是一款集成高精度平面尺寸检测和亚纳米级表面3D形貌测量的光学检测仪器，同时满足大范围多区域的高精度全自动检测，优异的重复性及效率有效减少人为误差及人员投入。可广泛应用于芯片、半导体制造及封装工艺检测、精密配件、光学加工、微纳材料及制造、MEMS器件等超精密加工行业，对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，能够对芯片Z向实现微纳尺度的3D扫描和重建，精确测量表面的高度轮廓尺寸；全自动上下料平台，配置扫描枪，高效实现产线全自动化生产。

4、强化人才培养

中图仪器携手深圳职业技术学院，共同培养集成电路创新型技术技能人才。双方就校企联合开发、人才培养、实训基地等方面进行了深入的交流并达成初步合作共识，2023年2月20-24日，第一批精英实训班圆满结课。

中图仪器坚持以技术创新为发展基础，拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队。历经20年的技术积累和发展实践，研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备，能提供从纳米到百米的精密测量解决方案。

未来，中图仪器仍将继续专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新，为中国制造技术的快速发展贡献力量！

审核编辑黄宇