在基础科研中,微纳结构的跨尺度光刻逐渐成为研究者在制备样品过程中的必要手段。常规***需要定制光学掩模板,这不仅增高成本,还使灵活性大打折扣,即当发生任何设计上的变动,都需要重新制造掩模板。激光直写设备具备高灵活性,且可以实现较高精度,但由于是逐行扫描,曝光效率较低。近些年,基于空间光调制器(DMD/DLP)的技术在紫外曝光方面获得了长足的进展。
闪光科技为您推出TTT-07-UV Litho-ACA无掩模板紫外***就采用空间光调制器的光刻技术,使得其在光学掩模板设计上有着得天独厚的优势。其分辨率可达1 µm,高性能无铁芯直线驱动电机保证了套刻精度和6英寸的图形拼接。同时,其研发团队通过定制化微纳结构与器件的低成本、效率达成批量制造,实现规模化应用,助力电子、光学和生物等领域的微纳米器件研究与开发。
主要应用方向包括: 微流道芯片,微纳结构曝光,电输运测试/光电测试器件,二维材料的电极搭建,太赫兹/毫米波器件制备,光学掩模板的制作等。
东方闪光(北京)光电科技有限公司,是一家光学仪器设备供应商与服务商。 公司成立于2012年,在北京、上海、西安、昆山设有办事处,业务范围遍及全国。 闪光科技致力于将国内外光学仪器设备,结合自身的专业知识与行业经验,引荐给科研和企业用户,提供解决方案,公司十分重视公司的声誉和客户体验,并为此付出巨大努力,并获得客户的一致好评。 我们相信,每一次的合作,都是一次服务之旅的开始。
审核编辑黄宇
-
光刻机
+关注
关注
31文章
1142浏览量
47152
发布评论请先 登录
相关推荐
评论