广东省力争MEMS传感器第一 半导体在建拟建总投资超5000亿

近日（4月17-19日），第25届中国集成电路制造年会（CICD）在广东广州举行，该会议由中国半导体行业协会集成电路分会等多家中国半导体产业权威机构主办，是我国半导体产业链最具影响力的权威研讨会。

自2020年开始，该会议连续三届在广州举办，在同年广东省发布《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2021-2025年）》，“1+20”战略性产业集群等政策，展现了广东省打造中国半导体第三极的决心。

其中，高端传感器、MEMS智能传感器等被列入广东省半导体、新一代信息技术发展重点，并获得优先扶持。从本届大会获悉，广东在半导体产业已投入超5000亿元！广东在建拟建半导体重大项目近40个，其中包括广州增芯12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目等为代表的投资超百亿级项目。

广东不只要做中国半导体第三极，在某些细分领域，譬如MEMS传感器等，更是要力争第一！

广东半导体总投资已超5000亿元！重大项目近40个！MEMS智能传感器等百亿项目实现产业破局！300亿半导体新资金正在路上！

在本届中国集成电路制造年会（CICD）上，传递了许多重磅信息，展示了广东这几年来打造MEMS传感器等半导体产业的成果。

广东作为科技产业集聚的重要区域，其半导体产业发展亦居全国前列。数据显示，2021年，广东半导体&集成电路产业实现销售额1404亿元，在全国占比12.5%。

当前，广东省在建拟建的集成电路重大项目近40个左右，总投资超过了5000亿元。按照国家部署，广东正加强产业布局，已基本形成了以广州、深圳、珠海为核心，带动佛山、东莞等地协同发展的3+n的产业格局。

此外，广东半导体及集成电路产业投资基金二期正在筹备中，规模达300亿元，基金期限长达17年，母基金可直接投资公司，包括汽车芯片，半导体材料设备，化合物半导体等主题。

根据“十四五”规划，到2025年，广东半导体及集成电路产业营业收入突破4000亿元，集成电路设计水平进入国际先进行列，建成较大规模特色工艺制程生产线，产业链供应链自主可控水平进一步增强，打造我国集成电路产业发展第三极。

打造MEMS传感器等3个百亿级项目，不只是补齐缺芯短板，更力争MEMS等细分领域第一！

大会透露，日前公布的广东省2023年重点建设项目计划中，半导体产业相关的项目超50个，涵盖第三代半导体、封装测试、半导体材料、MLCC、传感器等领域，总投资逾1400亿，其中包括三个百亿级项目。

这些项目包括广州增芯12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目、粤芯半导体12英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期）、深圳方正微电子第三代半导体产业化基地建设项目、芯粤能碳化硅芯片生产线项目等。

其中，增芯MEMS产线、粤芯三期项目、方正微电子产业化基地是投资超过百亿级别的重头项目，对补齐半导体产业链各个领域的短板具有重要意义，更在部分细分赛道力争第一。

以增芯MEMS产线为例，2022年12月，增芯12英寸先进MEMS智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目开工建设，计划2024上半年通线，2025年年底满产。据《广州市2022年重点建设项目计划》显示，广州增芯项目总投资将达到370亿元！打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。

当前全球最大的MEMS晶圆代工厂——赛微电子旗下瑞典Silex产线（FAB1&FAB2），年产能约84000片，赛微电子北京产线（FAB3）目前规划产能30000片/年，中芯集成（绍兴）的MEMS晶圆代工年销量约85000片左右。

▲赛微电子MEMS产能数据（来自赛微电子2021年报）

且以上MEMS晶圆代工产线均是8英寸线，12英寸晶圆较8英寸晶圆相比，其面积上提升约2.23倍，就单硅片产出来看，8英寸晶圆产出芯片88块，而12英寸晶圆产出芯片则达到232块。

因此，广州增芯12英寸MEMS产线一期月产2万片年产24万片，后期年产36万片12英寸MEMS晶圆的产能规划，如果投产顺利，将极大可能锁定中国乃至全球最大的MEMS晶圆代工厂的位置，将对我国传感器产业格局有较大影响。

广东作为中国经济最强省份，憋着一股气打造半导体产业，做到国内第三极，更要力争第一！

广东力争中国半导体第三极！MEMS智能传感器是弯道超车重点！获优先扶持！

长期以来，广东省半导体产业发展滞后，远不如上海市、江苏省等兄弟省市。据悉是由于错位发展的需要，广东大力发展光电显示产业，而上海在上世纪80年代就布局芯片产业。

在国家支持下，2020年广东发布《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2021-2025年）》政策，开始大力打造广东半导体产业，其中提到广东半导体产业存在诸多严峻的问题：

一是创新能力不强，创新要素投入不足，关键核心技术研发能力薄弱。二是设计企业普遍规模偏小，高水平设计能力不足。三是制造环节短板明显，实现规模化量产的12英寸晶圆线仅1条。四是高校人才培养严重短缺，微电子专业在校生不足2000人，人才引进难度越来越大，人才供求矛盾突出。五是对外依存度高，产业链供应链安全可控性亟待提升。在当前国际技术封锁及国内区域竞争加剧的背景下，迫切需要加快补齐产业链短板，提升产业链供应链稳定性安全性，为推动制造业高质量发展提供有力支撑。

当前，广东虽然有大量的芯片设计企业，但芯片制造产线寥寥无几。以传感器产业为例，此前粤港澳大湾区传感器芯片产线缺乏，只有奥松电子等几条MEMS传感器芯片产线，许多企业流片、生产需要到长三角甚至国外寻找代工公司合作。

芯片分为逻辑运算、存储器和传感器三大门类，我国已经在上海、北京、武汉、合肥等地建设了逻辑运算和存储器的主要产业平台，而传感器是万物互联的基础、应用广泛，亟待进一步发展。同时，我国传感器产业羸弱，中高端传感器80%需要进口，传感器芯片进口率达90%已成共识，国产传感器发展空间较大。

某种程度上，MEMS智能传感器成为广东半导体产业弯道超车的最佳赛道之一，在政策中，传感器及MEMS也被作为多项重点工程提及。

此后，以广州、深圳为核心，广东传感器产业获得的政策支持，均处于前列，都是作为首批获得资金扶持的产业。

2022年4月，广东省工信厅印发《2022年广东省数字经济工作要点》，要全面实施“广东强芯”工程，加快湾区半导体、广大融智、智能传感器三大产业集团建设。

一、成立广东省半导体及集成电路产业投资基金（总规模500亿，首期200亿）：设立子基金、生态子基金和风险子基金；二、粤芯CanSemi12英寸模拟特色工艺线三期四期投资400亿元；三、粤港澳大湾区科技创新产业投资基金，总规模1000亿，首期200亿元；四、湾区半导体产业集团，首期160亿元，目标300亿元；五、广大融智产业集团，一期100亿元；六、智能传感器产业集团，100亿。

同年，深圳出台《关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》，培育发展壮大“20+8”产业集群，即发展以先进制造业为主体的20个战略性新兴产业集群，前瞻布局8大未来产业。包括智能传感器、智能传感器、精密仪器、新能源、高端医疗器械等产业集群。

为壮大相关产业，深圳以“一个产业集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相关基金，基金群总规模达千亿级。

其中，智能传感器、合成生物、新能源汽车、生物医药产业共四个重点方向为首批先行产业，基金已在2022年12月落地，规模达165亿元。

广东省首个智能传感器产业园揭牌！数百亿智能传感器产业基金成立！广东省疯狂搞传感器！力争第一？！

从2021年后，广东省对传感器产业的投入明显加强，节奏也明显加快。无论是广东省政策，还是广州市、深圳市两大核心城市，对于传感器产业的政策鼓励，优先级都是排在前列的。

2021年8月，广东省政府正式发布《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》(以下简称《规划》)。

在芯片设计方面，广州重点发展智能传感器、射频滤波器、第三代半导体，建设综合性集成电路产业聚集区；芯片制造方面，广州以硅基特色工艺晶圆代工线为核心，布局建设12英寸集成电路制造生产线，深圳定位28纳米及以下先进制造工艺和射频、功率、传感器、显示驱动等高端特色工艺，推动现有芯片制造生产线产能和技术水平提升；在封测方面，广州发展器件级、晶圆级MEMS封装和系统级测试技术等。

▲来源：《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》

2021年9月，广东省首个智能传感器产业园——粤港澳大湾区智能传感器产业园，正式揭牌，并于2022年8月建成。广东智能传感器产业园位于广州人工智能与数字经济试验区（鱼珠片区）北侧，总占地面积约10.79万㎡，建筑面积49.8万㎡，总投资26.8亿元。力争5年内建成立足粤港澳大湾区辐射全国、具有国际影响力的智能传感器产业集聚区，形成千亿级产业集群。

而中国传感器产业排名TOP2的两大传感器园区，江苏工业园区和上海嘉定工业园区，早在20214年和2016年已形成一定规模，建设完善的MEMS传感器芯片中试平台。

2021年11月，注册资本达100亿元的湾区智能传感器产业集团成立，由兴橙资本作为发起人组建，在海外购买IMEC技术授权，将上海乃至全球的先进传感器技术在大湾区应用推广。集团将快速打造核心产业平台，建设对标世界先进水平的12英寸MEMS传感器量产线、12英寸晶圆级MEMS传感器封装和SIP系统级传感器封测量产线，在增城南香山打造千亩空间的产业园。

2022年3月，深圳市工业和信息化局发布关于公开征求《深圳市关于推动智能传感器产业加快发展的若干措施》（征求意见稿）意见的通告，相关政策于同年12月出台。

深圳将从健全产业公共服务能力、构建核心技术竞争力和强化市场牵引发展能力三方面，加快发展智能传感器产业集群，促进产业迈向全球价值链高端。政策显示，对企业能够解决智能传感器产业“卡脖子”问题的，资金资助最高达到了1亿元！（相关政策内容参看《最高资助1亿！深圳要解决智能传感器产业“卡脖子”问题（附政策全文）》）

2022年9月，深圳市光明区政府发布《深圳市光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施(征求意见稿)》。光明区将支持建设一条兼具研发中试和量产能力的亚微米级8英寸MEMS中试线，重点推动深硅刻蚀、薄膜沉积、薄膜应力控制等核心制造工艺升级，形成标准工艺设计工具包(PDK)，面向市内外有关企业提供研发中试和批量代工服务。

据了解，上述中试线项目总投资额15.33亿元，建成后一条线产能可达3000片。同时，深圳市还计划将总规模50亿元的智能传感器产业基金落地光明。

2022年9月，广东越海集成高端传感器8寸/12寸TSV封装项目生产基地开工建设，将建设晶圆级封装生产线、3D传感器模块生产线，建成12寸TSV封装产能每月1.3万片，8寸及兼容4/6寸TSV封装产能每月2万片，填补了增城、广州乃至广东在“晶圆级先进封装”领域的空白，可服务于新能源汽车、自动驾驶、消费电子、安防监控、生物医疗、物联网、智能制造等多个领域。项目计划投资总额将超60亿元，建成后预计年产值超40亿元。

2022年12月，增芯12英寸先进MEMS智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目开工建设，详细情况参看上文。

2023年1月，深圳市光明区智能传感与精密仪器先进制造业园区开工建设，项目位于光明区西南直角产业带，综合开发范围1.95平方公里，规划容积382.51万平方米，分四期开发，项目总投资达81.9亿元。

这是继粤港澳大湾区智能传感器产业园后，广东省第二个成规模的传感器产业园区。

结语

因发展侧重等需要，长期以来，广东半导体产业远远落后于长三角的上海、江苏等兄弟省市。

近年来，随着广东半导体产业受到重视，吹响了打造中国半导体第三极的号角，当前广东半导体在建拟建项目总投资超5000亿元，已迈出了坚实的步伐。

广东自改革开放以来，长久占据中国经济最强省份的宝座，如今憋着股气发展半导体产业，除了要做到国内第三极，在某些细分领域，譬如MEMS传感器等，更是要力争第一，实现弯道超车！

自2020年以来，广东密集推出扶持传感器产业发展的各项政策措施，其力度之大、政策范围之广，超过其他兄弟省份城市，可见广东对于发展传感器产业的决心，广东在全力搞传感器产业！未来可期！