随着 “中国制造”向高质量、高性能、高精密发展吹起号角,半导体、光学、3C制造、新材料、精度加工、医疗、航空航天、新能源等高端产业相继得到重点投资和扶持,推动国产制造“高端化”已成为未来5-10年的发展基调。
伴随这些产业技术的不断突破,各种新材料、新器件、新工艺在高校、实验室、行业企业不断涌现。
如何对这些样品实现便捷、高效的测量测试成为需要解决的问题。
当前测试困境
以往,高校、实验室、行业企业客户以委外测量方式为主。在客户(尤其是企业客户)出现大量测量件时,需要在短时间内紧急完成测样时,委外测试存在无法满足大批量测量需求的问题,如某晶圆代工厂大批量来料后需要紧急测量样品的表面粗糙度是否合格;客户的新工艺、新材料出现后势必对测量技术有更高的要求,委外测量存在技术及设备难以跟上的问题,如某高校新型薄膜材料样品的表面膜厚检测,测量精度要求达到纳米级,并要求不受样品表面高反光影响;多批次委外测样,委外测量设备或数据未必能保证一致,影响客户后续研发、生产的调试调节。
优可测的测试服务
优可测的白光干涉仪测试提供小批量免费测样服务,测样时间周期可控,专人对接。优可测白光干涉仪具备高精度、高速度、可定制、大角度特性的优势,测样速度快、效率高,满足复杂测量需求下的样品测样。
优可测的产品优势
1.精确捕捉,超高精度微观3D形貌的能力
优可测白光干涉仪测试可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量,高达0.03nm的测量精度可对各种新型高精度工艺器件样品的微观表面3D形貌进行精确还原
2.超高速,极大提高测量效率,可用于自动化产线
测量速度以秒级计算,开启一键测量模式,可满足大批量产品抽样检测,以及可定制到自动化产线,满足在线测量需求。
3.满足新型材料的复杂测量
优可测白光干涉仪可测量低至0.02%反射率的高透明新型材料产品,轻松采集信息。超越传统的极大角度特性,光滑面角度特性最高53°,局部剖面倾角可达90°,对样品的R角具备优秀测量能力。
4.测量不同样品数据的稳定性
对不同批次不同材料的样品,具备测量的高稳定性,RMS重复性最高可达0.002nm。
审核编辑黄宇
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干涉仪
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