连北上广深都亲自下场，未来5年，谁是中国智能传感器第一城？

近日（4月21-23日），今年以来又又又……一场传感器产业盛事举行——第五届中国MEMS智能传感器产业发展大会，本次大会的主角是安徽城市蚌埠。

今年春节期间央视推出《传感中国》系列节目，苏州、上海、深圳、广州……等各个城市，先后举行了多场传感器产业大会，得到了所在地方政府的大力支持。

近年来，全国各地多个城市明确支持传感器产业发展，连北上广深等一些城市也一个不落，譬如：哈尔滨、沈阳、北京、太原 、青岛、淄博、济南 、烟台 、郑州、新乡、上海 、南京 、无锡 、苏州 、常州、徐州、西安、宝鸡、汉中 、杭州 、嘉兴 、宁波、温州、武汉 、长沙、株洲 、成都 、德阳、重庆、福州 、泉州 、厦门、深圳、广州……

各个城市的智能传感器产业发展情况如何？有哪代表性企业？谁将是未来中国智能传感器第一城？因篇幅有限，本文介绍几个主要传感器城市，抛砖引玉，我们可以从中窥视中国智能传感器产业的这股热潮。

苏州：培育出多家传感器独角兽企业，中国当前智能传感器最大园区 2010年，赫赫有名的苏州工业园区，看中MEMS智能传感器的发展前景，成立了苏州纳米科技发展有限公司，2013年由纳米科技公司运营的苏州纳米城投入使用。 2014年，筹备建设近4年的“MEMSRIGHT” 6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线投入使用，成为我国首个全开放、市场化和工业级MEMS产业中试平台，填补我国MEMS产业研发机构与规模代工厂之间的空白，构建了苏州工业园区“研发—中试—规模生产”的完整MEMS产品技术创新链，具有模范作用。MEMS中试线的投入使用对吸引MEMS智能传感器初创企业的入驻，推动园区内智能传感器企业的发展，有至关重要的作用。 围绕MEMSRIGHT中试线，苏州纳米城构造了“纳米技术应用产业生态圈”，截至2021年9月累计建成载体近50万平方米，集聚各级领军人才超250人，入驻企业和科研机构超400家，国家高新技术企业近90家，中科院兰化所苏州研究院等中科院下属机构5家，苏州剑桥等4个国外纳米创新中心。

在赛迪顾问等权威机构的数据中，苏州工业园区多年来高居中国智能传感器产业第一宝座。在中国MEMS十强企业中，常年有2~3席企业来自苏州工业园区。 截止2023年4月，13年来，苏州纳米城培育了敏芯股份、纳微科技、东微半导、纳芯微、润迈德医疗等5家上市企业，此外还有明皜传感、迈瑞微电子、苏州感芯微、慧闻纳米、晶方科技等多家智能传感器设计及封测制造企业。代表性企业：敏芯股份（已上市）敏芯股份是中国最早成立的MEMS研发公司之一，中国MEMS十强企业，主导推动了中国MEMS产业链构建，被赞誉为产业拓荒者，2020年8月登陆上海证券交易所科创板，为中国MEMS芯片第一股。 纳芯微（已上市）纳芯微是中国MEMS十强企业，国内少有的车规级高性能高可靠性模拟芯片研发企业，当前中国传感器产业股票单价最贵的公司。（2023年4月超300元/股）。 明皜传感多次进入中国MEMS十强企业榜单，国内MEMS传感器技术的创新者和开拓者，中国二极管龙头企业苏州固锝旗下子公司。 无锡：中国最早重视智能传感器产业发展的城市 2008年，无锡市看中物联网及智能传感器产业发展前景，同年无锡高新区成立无锡微纳产业发展有限公司。 2009年“感知中国中心”（亦称“无锡国家传感信息中心”）落户无锡，由微纳产业公司运营的中国物联网国际创新园（简称“微纳园”）成立，并于2010年投入使用，是中国首个智能传感器产业园区，全国首家以“物联网技术”为主题的国家级专业孵化器。 智能传感器产业成为无锡重点发展的战略新兴产业之一。无锡市也是全国第一个把物联网技术及应用作为战略性新兴产业的城市，多年以来，无锡高新区一直是中国智能传感器TOP3产业园区。 2010年，微纳园依托华润上华，建设MEMS公共技术服务平台，是国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台。使无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台，集聚了一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。 2021年微纳园产值130亿元，税收7.3亿元，高新技术企业103家，上市筹备企业12家。拥有中芯国际、华润上华、长电科技等重点企业，江苏物联网研究发展中心、新加坡南洋理工大学MEMS研究中心、华进半导体封装先导技术研发中心等研究机构。代表性企业：华润微电子（已上市）华润微电子是中国MEMS十强企业，IDM公司同时拥有MEMS晶圆代工业务，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。 锡产微芯无锡本地IDM龙头企业，锡产微芯在意大利拥有8寸晶圆生产线（LFoundry，从中芯国际收购），涉及CMOS图像传感器、智能电力、轻触式显示屏及嵌入式存储器等设计、生产。2022年锡产微芯以超百亿元，收购荷兰Ampleon ，跃升全球第二大移动基站射频厂商。 上海：中国最早发布智能传感器一揽子扶持政策的城市 上海是中国当之无愧的半导体第一城，上海在上世纪80年代就布局芯片产业，2000年中芯国际在上海成立，大批半导体设计企业以及制造线集中与此。 发展智能传感器，上海走在前列，是全国最早发布智能传感器产业一揽子政策的城市，早在2019年，上海嘉定发布39条智能传感器产业扶持政策，明确到2025年，嘉定以智能传感器芯片为核心的的智能硬件相关产业产值突破千亿元。

上海嘉定是上海集成电路产业“一体两翼”规划布局中的“北翼”，打造智能传感器全产业链，在上海嘉定工业区拥有全国首条MEMS 8寸“超越摩尔”研发中试线和国内首条12英寸先进传感器中试线，可帮助企业尽快实现规模量产。 在上海嘉定，2016年中国传感器与物联网产业联盟成立，中国传感器与物联网产业联盟相继举办了Sensor China、Sensor Shenzhen等行业重要展览、会议；2018年国家智能传感器创新中心成立，这是我国唯一一个智能传感器国家级创新中心，2019年上海智能传感器产业园成立。 上海嘉定是全国TOP3的智能传感器产业聚集区，上海拥有众多智能传感器设计、封测、制造企业，以及中国科学院上海微系统与信息技术研究所等多个国家级智能传感器研究机构。代表性企业：韦尔股份（已上市）中国最大传感器企业，中国图像传感器龙头企业，世界第三大图像传感器公司。 格科微（已上市）中国第二大图像传感器企业，CMOS图像传感器出货量全球第一，正在筹建12 英寸 CIS 芯片产线，企业模式将从Fabless向Fablite转变。 思特威（已上市）中国第三大图像传感器企业，安防监控领域图像传感器出货量第一。 灿瑞科技（已上市）国内领先的磁传感器及高性能数模混合芯片研发公司，2022年上交所科创板上市。 矽睿科技中国MEMS十强企业，是我国磁传感器、惯性传感器领先厂商。 此外，上海还有深迪半导体、兰宝传感、禾赛科技、思立微、申矽凌、艾络格、艾普柯微、烨映微等等众多知名传感器企业。蚌埠：老牌传感器生产基地，智能传感器为四大产业集群之一主要政策：《中国（蚌埠）智能传感谷产业发展规划（2021-2030）》目标：到2025年，产业规模突破200亿元，带动关联业态规模达到300亿元(其中集成电路、智能终端、5G及北斗、人工智能、云计算和大数据分别为50亿、100亿、70亿、20亿、60亿)。 安徽蚌埠是我国最早的三大传感器生产基地之一，即安徽基地主要是建立力、光敏规模经济；陕西基地1990年2月成立了陕西省敏感技术产业集团公司，主要是建立电压敏、热敏、汽车电子规模经济为主要目标；黑龙江基地主要建立气、湿敏规模经济为主要目标。

作为老牌传感器生产基地，蚌埠具有极其深厚的传感器生产研发制造底蕴和技术积累，成为安徽省唯一、全国前列的同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市，近年来，蚌埠市高度重视智能传感器产业发展，“智能传感器”成为全市四大产业集群之一。 2022年《中国（蚌埠）智能传感谷产业发展规划（2021-2030）》出台，加快蚌埠市建设智能传感器强市的步伐，近日更是高规格举办了第五届中国MEMS智能传感器产业发展大会，据悉在大会上共有总投资137亿元的40个项目进行签约，蚌埠北方微鑫创业投资基金、新一代信息技术产业发展基金、深赛智能传感器前沿投资基金等3支新设立的基金落户蚌埠。 目前，蚌埠打造了北方微电子研究院、芯动联科、希磁科技、中科米微、依爱消防、双环电子等一批行业领军企业，此前据媒体披露，2022年蚌埠投入超过76亿元建设多条MEMS智能传感器晶圆产线。代表性企业：芯动联科（已过会）高性能工业级MEMS惯性传感器芯片设计研发企业，2月13日，芯动联科在上海证券交易所科创板IPO过会，将是安徽省MEMS领域首家上市企业，中国（蚌埠）传感谷"第一股"。 希磁科技磁传感器垂直整合制造企业，电流传感器全链条自主可控龙头企业，2018年总部落户蚌埠，2021年希磁收购了德国先进磁传感器厂商Sensitec。 郑州：连续举办世界传感器大会，决心打造中国一流智能传感器产业主要政策：《河南省加快推进智能传感器产业发展行动计划》、《郑州高新区促进智能传感产业发展的若干措施》目标：千亿级产业集群。2025年传感器产业规模达到1000亿，国家级研究中心，省级以及百亿级企业数量都将有明显提升。 2018年开始，高规格的世界传感器大会连年在河南郑州举行，2019年1月，河南省政府办公厅正式印发《河南省加快推进智能传感器产业发展行动计划》，表明河南省对智能传感器产业的重视。河南形成了中国（郑州）智能传感谷、开封、洛阳、鹤壁、新乡、三门峡、南阳“一谷六园”的发展格局，其中以郑州为智能传感器产业发展核心。

据郑州高新区资料显示，郑州高新区目前聚集传感器相关企业3011家，拥有4家智能传感器上市企业，产业规模已由2018年的50亿元壮大至150亿元，年均增长45%。在2022传感器十大园区排名中，郑州高新区位列第四，中部第一。 郑州高新区计划总投资约60亿元，建设中国（郑州）智能传感谷，占地337亩，总建筑面积约83万㎡，项目建成后拟入住传感器相关企业约300-500家，力争年产值100亿元、年利税6亿元，成为国际水平、国内一流智能传感物联高地。 在郑州传感谷内，拟投资15亿元建设MEMS研发中试平台，将郑州打造成中部地区最先具有MEMS芯片量产能力的城市，计划2年内完成8吋MEMS“制造+封测”平台建设，产能约3000-5000片/月。

代表性企业汉威科技（已上市）中国气体传感器龙头企业，国内气体传感器出货量最大的公司，旗下有炜盛科技、能斯达电子等传感器企业，据赛迪顾问的报告显示，汉威科技是国内综合实力排名第一的传感器厂商（详情参看《中国首次公布：气体传感器TOP 10名单！》） 日立信国内领先的气体传感器企业，主要应用于电力系统氢气等泄漏检测，日立信正在进行上市辅导，拟冲刺科创板IPO。北京：中国传感器研发力量最尖端的城市主要政策：《关于推动北京市传感器产业创新发展工作方案》目标：到2030年，持续提升科学仪器和传感器产业价值链，打造2-3个国际知名品牌，实现仪器仪表和传感器产业规模突破1000亿元，不断完善产业生态链。 北京是我国智能传感器产业主要研发城市，聚集了一大批高校、研究院所、高科技公司，清华大学、北京大学等都是我国智能传感器领域顶尖高校，其中北京大学的4英寸生产线是国内最早提供MEMS代工的生产线之一。
2021年北京市发布《关于推动北京市传感器产业创新发展工作方案》，亦庄打造千亿级别智能传感器产业园，确立以MEMS工艺和集成电路工艺相结合的智能传感器产业发展路径，推行以市场应用为导向的扶持政策。拥有芯片制造、装备制造等领域的龙头企业，打造8英寸MEMS国际代工线，推动8英寸纯MEMS传感器芯片规模化量产。 方案还提出，到2022年，建成5个协同创新平台和传感器产业发展基金，形成技术实现支撑体系。攻克科学仪器5个领域、10项以上关键核心技术，突破10种以上重点传感器产品。突破智慧城市5个领域、15种以上重点传感器产品，培养10家以上“专精特新”企业，形成企业培育服务体系。引进培育50家以上科学仪器和传感器优质企业。 2023年2月，北京首支传感器产业基金——北京北工怀微传感科技股权投资基金（有限合伙）成立，总规模10亿。代表性企业：赛微电子（已上市）赛微电子是全球及中国最大纯MEMS代工厂商，旗下子公司包括瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，2021年6月北京8英寸MEMS产线（北京FAB3）一期建成生产，规划产能1万片/月，目前处于爬坡阶段，北京FAB3的建设总产能为3万片/月。 兆易创新（已上市）兆易创新是集存储器、微控制器、传感器于一体的领先的半导体解决方案供应商。2019年收购上海思立微开拓传感器业务，提供嵌入式生物识别传感芯片，电容、超声、光学模式指纹识别芯片 以及自、互容触控屏控制芯片。 必创科技（已上市）智能传感器和光电仪器产品、方案及服务提供商，在技术方面，目前已经掌握了光敏、力敏等先进感知技术。 青鸟元芯国内第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的高科技企业。以"北京大学微电子学研究院"和"微米/纳米加工技术国家级重点实验室"为技术依托，专门从事各种微型传感器的研发和生产。 昆仑海岸温度、压力、液位等多种传感器、变送器供应商，专注在环保水处理及固废处理，石油、石化及天然气等领域。 北方广微非制冷型红外焦平面探测器及机芯组件研制与生产企业，中国具有影响力的传感器企业之一。 广州：建造规模最大MEMS产线，中国经济最强省打造智能传感器产业两大核心之一主要政策：《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》、《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2021-2025年）》目标：到2025年，广东半导体及集成电路产业营业收入突破4000亿元，集成电路设计水平进入国际先进行列，建成较大规模特色工艺制程生产线，产业链供应链自主可控水平进一步增强，打造我国集成电路产业发展第三极。 长期以来，广东省半导体制造产业远远落后于上海、江苏等长三角兄弟省市，在国家部署下，2020年开始，广东发布《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2021-2025年）》，加速发力半导体及集成电路产业，打造我国半导体产业发展第三极。广东省半导体产业战略主要依托广州、深圳两大核心城市。

其中，MEMS智能传感器产业为广东省重点发展领域之一。此前，我国已经在上海、北京、武汉、合肥等地建设了逻辑运算和存储器的主要产业平台，而传感器是万物互联的基础、应用广泛，我国传感器产业羸弱，中高端传感器80%需要进口，传感器芯片进口率达90%已成共识，因此，智能传感器产业可能成为广东省半导体产业发展弯道超车的关键。2021年，智能传感器产业集团成立，投资100亿元。 2021年9月，广东省首个智能传感器产业园——粤港澳大湾区智能传感器产业园，正式揭牌，力争5年内建成立足粤港澳大湾区辐射全国、具有国际影响力的智能传感器产业集聚区，形成千亿级产业集群。 2022年12月，增芯12英寸先进MEMS智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目开工建设，打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。计划2024上半年通线，2025年年底满产，一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。该产线规模远超现有MEMS产线产能，或将成为中国乃至全球规模最大的MEMS产线，将对我国传感器产业格局有较大影响。代表性企业：奥松电子奥松电子是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业，广东省内为数不多的IDM模式传感器公司。 奥迪威（已上市）国内超声波传感器龙头企业，北京证券交易所第一家上市的传感器公司。 飒特红外国内较知名的红外传感器、热像仪生产企业。 深圳：国内最豪华一揽子政策，中国经济最强省打造智能传感器产业两大核心之一主要政策：《关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》、《深圳市培育发展智能传感器产业集群行动计划（2022-2025年）》《深圳市关于推动智能传感器产业加快发展的若干措施》 目标：到2025年智能传感器产业增加值达到80亿元、实现翻番，新增一批专精特新“小巨人”、制造业“单项冠军”、“独角兽”企业。 作为中国特色社会主义先行示范区，深圳起到经济高质量发展的示范作用，先后发布《关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》等一揽子政策，培育发展壮大“20+8”先进产业集群。 其中，智能传感器产业是深圳首批先行产业，获得重点扶持，深圳表示要“像重视集成电路一样重视智能传感器”，将智能传感器提到前所未有的高度。

深圳聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、CMOS-MEMS集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设MEMS中试线、MEMS传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子、智慧城市等领域应用场景，支持南山、龙华、光明等区建设集聚区，打造全要素完备的智能传感器产业集群。 2022年，深圳光明区将支持建设一条兼具研发中试和量产能力的亚微米级8英寸MEMS中试线，项目总投资额15.33亿元，建成后一条线产能可达3000片。重点推动深硅刻蚀、薄膜沉积、薄膜应力控制等核心制造工艺升级，形成标准工艺设计工具包(PDK)，面向市内外有关企业提供研发中试和批量代工服务。 2022年12月，总规模50亿元的智能传感器产业基金已落地光明。此外，多项扶持政策落地，对企业能够解决智能传感器产业“卡脖子”问题的，资金资助最高达到了1亿元！ 2023年3月，首届深圳国际传感器与应用技术展览会（SensorShenzhen）开幕，这是粤港澳大湾区首个大规模传感器专业展会，吸引了全国各地众多传感器厂商，详情参看《飞往深圳的航班里，坐满了寻找传感器机遇的厂商》代表性企业：汇顶科技（已上市）中国指纹识别传感器龙头企业，领先的IC设计与解决方案领先提供商。 瑞声科技（已上市）中国MEMS十强企业，国内最大的MEMS传感器企业之一，中国第二大MEMS声学传感器供应商。 速腾聚创中国领先的激光雷达企业之一，拥有全球最多的整车厂（OEM）合作数车型，掌握激光雷达核心技术——MEMS振镜技术。 结语 近年来，智能传感器产业的发展得到各地的支持，包括北上广深等一线城市在内，出台了许多地方政策，争先发展智能传感器产业，因篇幅有限，本文未能一一介绍，据估计约有30多个大中小城市明确支持发展传感器产业：

哈尔滨、沈阳、北京、太原 、青岛、淄博、济南 、烟台 、郑州、新乡、上海 、南京 、无锡 、苏州 、常州、徐州、西安、宝鸡、汉中 、杭州 、嘉兴 、宁波、温州、武汉 、长沙、株洲 、成都 、德阳、重庆、福州 、泉州 、厦门、深圳、广州……

目前来看，长三角城市，上海、苏州、无锡等聚集了中国最多的传感器制造商，也是当前中国传感器产业最发达的城市，而广州、深圳等城市，则在政策力度，尤其是资金扶持等，力度更加大，在政策推动下未来将迎来传感器产业大发展。 谁会是未来中国智能传感器产业第一城？您对本文有什么看法？欢迎在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论，或在中国最大的传感社区：传感交流圈中进行交流。

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审核编辑黄宇