压电材料的种类

压电（Piezo）

何谓压电？

压电表示压电元件（PiezoelectricElement、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。

压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时，（+）正离子、（-）负离子的位置会移动，产生（+）和（-）电荷的偏移（电极化），从而产生电压。

利用压电效应的主要用途是传感器，利用逆压电效应的主要用途是执行机构。

压电材料的种类

压电材料大致分为单晶、陶瓷、薄膜等。

罗姆采用的是使用锆钛酸铅（PZT）的薄膜压电。
PTZ取自元素符号（PbZrxTi1-xO3）（0<1）的首字母，压电性能非常强，称得上是压电元件的主角。<>

薄膜压电和块体压电

大致将厚度约为几μm的叫作薄膜压电（压电薄膜），几十μm以上的叫作块体压电（厚膜压电）。
利用薄膜压电可以实现元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。

薄膜PZT的成膜方法

生成薄膜PZT的方法有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。