MEMS压力传感器校准的价值

测量工具的价值取决于它的准确性。 测量设备，如传感器，在汽车、医疗保健和工业环境中随处可见。 对于许多此类应用，传感器必须准确以确保质量控制和患者安全。

另一方面，对于压阻式压力传感器，这是一个受欢迎的选择，因为它们具有快速响应、坚固耐用和大范围测量的特点，温度的变化会影响压力输出，并最终影响精度。 但只要晶圆中的染料具有均匀性，与温度相关的错误就可以得到纠正或奖励。

压力传感器补偿有两种流行的方法：被动和主动。 被动补偿通过在制造过程中微调电阻器来完成。 它适用于传感器会经历微小温度变化的环境。 对于更具挑战性的温度变化，主动补偿利用板载电路或微控制器。

这是温度传感器定期测量压力传感器周围环境的温度的地方。 然后它将其移至板载电路以纠正与温度相关的任何错误，也称为偏移。 这还允许接近零的温度误差和更大的工作范围，使其成为高质量压力传感器的引人入胜的品质。

自己校准或购买校准的

传感器校准有两种可能的选择：1) 生产线中的传感器由压力传感器客户校准或 2) 压力传感器制造商完全补偿； 预校准传感器由客户集成。

压力传感器客户可能想要校准自己的传感器有几个很好的理由。 一个原因是他们可能已经在他们的最终产品中安装了微控制器，例如，在可安装在板上的部件上。 在这种情况下，可以通过微控制器完成主动校准。

客户也可能有一个传感器封装/外壳过程，这会给传感器带来很大的压力。 发生这种情况时，已经校准的压力传感器将通过应力诱导封装过程记录额外的压力。 增加的压力然后将引入新的零点。

客户自己进行校准的缺点之一是在线校准可能难以执行，而且也可能具有很高的破坏性。 另一个问题是，购买一个已经校准的传感器比购买需要专门设备和专业知识的在线校准成本要低。

所有缺点中最重要的是，如果客户自己进行校准，则校准将需要时间。 无法进行质量校准，因为每个传感器都需要单独校准。 此外，校准所需的温度范围意味着设备需要很长时间才能达到所需的温度极限。

与未补偿的传感器相比，从制造商处购买完全补偿的压力传感器（例如 Merit Sensor）会更加昂贵。 然而，重要的是要权衡这一点与内部校准部件的成本。 时间就是金钱。

从制造商处购买完全补偿的零件是减少与校准问题相关的一些时间和成本的一种方式，因为校准后的零件可以根据需要简单地插入线路。

这对于希望更快地通过生产移动产品的公司来说是理想的，特别是那些没有设备、技能和工艺流程来进行在线校准的公司。 对于拥有自己的校准专业人员、工具和专业知识的压力传感器制造商来说，进行校准通常是有意义的。

定制传感解决方案

LP 系列是 Merit Sensor 为超低压应用提供的各种压力传感器之一。 这种类型的传感器适用于非腐蚀性气体，因此非常适合持续气道正压通气 (CPAP) 机等应用。 LP 系列提供预校准选项，这意味着压力传感器可立即用于医疗用途。 它还适用于工业用途、空气过滤系统和医疗保健中的肺活量测量。

Merit Sensor 为需要中低压的应用提供 PMD 系列。 PMD 系列适用于空气和其他非腐蚀性液体。 它还能够测量差压、绝对压力和真空压力。 该系列是最理想的打印机墨水液位监测压力传感器，可在0.34至3.5 bar压力范围内工作。 对于此应用，校准快速而直接，因为它使用外部微处理器。 这意味着无补偿 PMD 系列确实是一个受欢迎的选择。

另一方面，TVC系列适用于高温油等苛刻的介质操作。 该传感器具有高耐介质性，是汽车行业的绝佳选择。 该设备的径向密封意味着它可以在模块级别集成，而引入的应力最小。

全补偿传感器在汽车应用中受到广泛青睐，因为它们使汽车制造商无需将耗时的、在宽温度范围内的校准集成到他们的生产过程中。

审核编辑：郭婷