0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

有图晶圆关键尺寸及套刻量测系统助力半导体产业发展

中图仪器 2022-04-08 16:32 次阅读

有图晶圆关键尺寸及套刻量测系统可对Wafer的关键尺寸进行检测,对套刻偏移量的测量,以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的测量,包括镭射切割的槽宽、槽深等自动测量。300*300mm真空吸附平台,最大可支持12寸Wafer的自动测量,配置扫描枪,可实现产线的全自动化生产需求。
一.系统的布局结构1. 上料/下料区:Robot自动抓取Wafer至寻边器平台;2. 定位区:寻边器对Wafer自动轮廓识别,旋转校正到设定姿态;3. 测量区:自动测量平台,包含2D和3D测量模组,内部有温湿度监控及除静电装置。 1.上下料区:Robot自动上下料

d75e9d46-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.png

Robot自动上下料

2.定位区:寻边器自动识别出wafer轮廓,旋转校正到设定姿态

d76c392e-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.pngRobot将Wafer放在寻边器上

d7795866-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.png

自动识别出wafer轮廓


3. 测量区:自动测量平台

d78d4074-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.png

自动测量平台

二.应用案例

1.Wafer关键尺寸、套刻偏移量测量

d7a36df4-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.jpg


2.镭射切割槽测量

d7b0e394-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.jpg

3.表面粗糙度测量

d7c103e6-b2a4-11ec-82f6-dac502259ad0.jpg


声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 监测系统
    +关注

    关注

    8

    文章

    2651

    浏览量

    81210
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    贴膜机在半导体Wafer领域的应用(FHX-MT系列)讲解

    贴膜机的半导体应用
    的头像 发表于 08-19 17:21 293次阅读
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>贴膜机在<b class='flag-5'>半导体</b>Wafer领域的应用(FHX-MT系列)讲解

    环球获美国4亿美元补助,加速半导体产能扩张

    近日,美国商务部宣布了一项重要举措,与环球(GlobalWafers)的子公司达成了初步合作框架,标志着双方在半导体产业合作上迈出了坚实的一步。根据这份不具约束力的备忘录,美国政府
    的头像 发表于 07-18 18:06 1062次阅读

    WD4000系列几何系统:全面支持半导体制造工艺测,保障制造工艺质量

    面型参数厚度、TTV、BOW、Warp、表面粗糙度、膜厚、等是芯片制造工艺必须考虑的几何形貌参数。其中TTV、BOW、Warp三个参数反映了半导体
    的头像 发表于 06-01 08:08 824次阅读
    WD4000系列<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>几何<b class='flag-5'>量</b>测<b class='flag-5'>系统</b>:全面支持<b class='flag-5'>半导体</b>制造工艺<b class='flag-5'>量</b>测,保障<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>制造工艺质量

    半导体与流片是什么意思?

    半导体行业中,“”和“流片”是两个专业术语,它们代表了半导体制造过程中的两个不同概念。
    的头像 发表于 05-29 18:14 3400次阅读

    全球一季度半导体出货下滑

    5 月 10 日报道,据全球半导体产业协会 SEMI 的统计,今年首季全球半导体出货
    的头像 发表于 05-10 10:27 386次阅读

    半导体晶片的测试—针测制程的确认

    将制作在上的许多半导体,一个个判定是否为良品,此制程称为“针测制程”。
    的头像 发表于 04-19 11:35 770次阅读
    <b class='flag-5'>半导体</b>晶片的测试—<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>针测制程的确认

    芯碁微装推出WA 8对准机与WB 8键合机助力半导体加工

    近日,芯碁微装又推出WA 8对准机与WB 8键合机,此两款设备均为半导体加工过程中的关键
    的头像 发表于 03-21 13:58 817次阅读

    TC WAFER 测温系统 仪表化温度测量

    “TC WAFER 测温系统”似乎是一种用于测量半导体制造中的基础材料)温度的
    的头像 发表于 03-08 17:58 890次阅读
    TC WAFER   <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>测温<b class='flag-5'>系统</b> 仪表化<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>温度测量

    精准制胜,WD4000无几何系统为高质量生产保驾护航

    制造前道过程的不同工艺阶段点,往往需要对wafer进行厚度(THK)、翘曲度(Warp)、膜厚、关键尺寸(CD)、
    的头像 发表于 03-05 08:09 609次阅读
    精准制胜,WD4000无<b class='flag-5'>图</b><b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>几何<b class='flag-5'>量</b>测<b class='flag-5'>系统</b>为高质量<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>生产保驾护航

    “芯”动未来,无几何系统提升半导体竞争力

    几何系统,适用于线切、研磨、抛光工艺后,进行wafer厚度(THK)、整体厚度变化(TTV)、翘曲度(Warp)、弯曲度(Bow
    的头像 发表于 02-29 09:14 784次阅读
    “芯”动未来,无<b class='flag-5'>图</b><b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>几何<b class='flag-5'>量</b>测<b class='flag-5'>系统</b>提升<b class='flag-5'>半导体</b>竞争力

    PFA夹在半导体芯片制造过程中的应用

    随着半导体技术的不断进步,制造作为集成电路产业的核心环节,对生产过程的精密性和洁净度要求日益提高。在众多晶制造工具中,PFA(全氟烷氧
    的头像 发表于 02-23 15:21 863次阅读

    半导体制造SAP:助力推动新时代科技创新

    随着科技的迅猛发展半导体行业成为了推动各行各业进步的重要力量。而半导体制造作为半导体
    的头像 发表于 12-22 13:01 476次阅读
    <b class='flag-5'>半导体</b><b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>制造SAP:<b class='flag-5'>助力</b>推动新时代科技创新

    果纳半导体:首家实现传输设备自主研发批量出货

    果纳半导体主要致力于集成电路传送领域。研究开发组均来自国内外知名集成电路设备企业,技术人员所占比重超过70%。其主要产品前端传输模块、
    的头像 发表于 12-08 10:33 1266次阅读

    埃瑞微半导体前道设备总部项目签约

    据“无锡高新区在线”公众号消息,12月1日,埃瑞微半导体前道设备总部项目在无锡高新区正式签约。 据了解,埃瑞微在半导体前道
    的头像 发表于 12-05 17:49 712次阅读
    埃瑞微<b class='flag-5'>半导体</b>前道<b class='flag-5'>套</b><b class='flag-5'>刻</b>设备总部项目签约

    半导体的外延片和的区别?

    半导体的外延片和的区别? 半导体的外延片和都是用于制造集成电路的基础材料,它们之间
    的头像 发表于 11-22 17:21 4980次阅读