0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

晶圆划片机主轴转速对刀片寿命及切割品质的影响

西斯特精密加工 2021-11-09 17:06 次阅读

在晶圆划切过程中,不仅需要选择适合的划片刀,而且要关注加工条件的优化。合适的划片刀和良好的加工条件,对于获得满足工艺要求的切割效果都起着至关重要的作用。

加工条件主要涉及以下两个方面:

poYBAGGKDqCAGVvLAAAxVETbUlc220.png

什么是主轴转速?

刀片固定在精密切割设备主轴上,并以非常高的速度旋转。主轴转速通常在每分钟10,000至60,000转之间。刀片旋转速度是影响切割效果的关键因素之一。

需要注意的是,在相同转速下,刀片外径不同,外圆线速度也是不同的。刀片外径越大,外圆线速度越大,如下图所示:

poYBAGGKDtOAVG2oAACo7MbrzAA220.png

不同的刀片外径为了获得相同的外圆线速度,必须调整转速,以保证切割质量及稳定性。

主轴转速对刀片寿命的影响

当主轴转速增加时,刀片的切割能力提高,金刚石的加工负荷减少,从而提高了刀片寿命,同时降低了被切产品正面崩边产生的风险。另一方面,金刚石加工负荷减少会阻碍刀片自锐,这往往导致被切产品背面崩边发生率的增加,此时降低主轴转速,加速刀片自锐,就是减少被切产品背面崩边发生率的有效措施之一。

poYBAGGKD3SAdZXeAABfOO-eW7Q806.png

pYYBAGGKD3uAekwKAABixMSaWmY089.png

主轴转速对切割品质的影响

不同主轴转速下的正面和背面崩边尺寸的变化

poYBAGGKD5CAKxh4AABdt02DFhA703.png不同主轴转速下的正面崩边尺寸的变化

pYYBAGGKD6aALZayAABhccPDbrY016.png不同主轴转速下的背面崩边尺寸的变化

相同切割条件下,主轴转速越高被切产品正面崩边尺寸越小,背面崩边尺寸越大。

不同主轴转速下的正面切割刀痕变化

pYYBAGGKD9GAE1uzAABnPwhCdus643.png主轴转速:44500

pYYBAGGKD-GAFl0UAABnEhoHaIM770.png主轴转速:56000

相同切割条件下,主轴转速越高,刀片蛇形切割的发生概率越高。

为了使被切产品保持良好的正面和背面切割质量表现,并达到预期的使用寿命,需要选择一个主轴转速平衡点。

主轴转速与加工质量的平衡点

由于主轴转速对正面、背面崩边尺寸和刀片寿命均有影响,因此有必要根据被切产品、刀片规格和加工质量标准对主轴转速进行平衡选择。

pYYBAGGKEBOAEJCdAAEfTF4flu4810.png主轴转速与加工质量的平衡点

以上是主轴转速对切割品质及切割寿命的影响,下期我们将讲述进给速度的影响。

西斯特科技

深圳西斯特科技有限公司 (简称SST西斯特) ,以“让一切磨削加工变得容易”为主旨,倡导磨削加工系统方法论,2015年创立于中国深圳,植根于技术创新的精神,屹立于追求梦想、创造价值的企业文化。

基于对客户现场的深度解读、创新性的磨具设计和磨削系统方法 论的实际应用,西斯特的磨削理念可服务于航空航天、医疗器械、集成电路、磁性材料、汽车与船舶制造、蓝宝石与功能陶瓷等领域的磨削加工,并为半导体制造消费电子制造、汽车制造等行业提供高端磨具产品。

西斯特科技始终以先进的技术、高性能的产品、优质服务的理念,带领产业革命,创造无限可能。

西斯特科技

专业切磨钻抛解决方案提供商

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 划片机
    +关注

    关注

    0

    文章

    142

    浏览量

    11090
  • 砂轮
    +关注

    关注

    0

    文章

    10

    浏览量

    3648
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    切割技术知识大全

    切割划片技术作为半导体制造流程中的关键环节,其技术水平直接关联到芯片的性能、良率及生产成本。
    的头像 发表于 11-08 10:32 113次阅读
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>切割</b>技术知识大全

    PCB雕刻切割用德国自动换刀主轴SycoTec 4033 AC-ESD

    德国SycoTec4033AC-ESD自动换刀主轴,适用于PCB板切割,具备高转速、小体积、高精度及ESD防静电功能。安装于分板机后,能切割出无毛边、切口平整的PCB板,提高生产效率和
    的头像 发表于 06-18 13:31 371次阅读
    PCB雕刻<b class='flag-5'>切割</b>用德国自动换刀<b class='flag-5'>主轴</b>SycoTec 4033 AC-ESD

    半导体切割之高转速主轴解决方案

    集成电路生产中,切割技术至关重要。传统切割技术难以满足大规模生产需求,精密切割设备应运而生。德国SycoTec提供多款高速电
    的头像 发表于 06-12 14:37 365次阅读
    半导体<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>切割</b>之高<b class='flag-5'>转速</b>电<b class='flag-5'>主轴</b>解决方案

    划片技术大比拼:精度与效率的完美平衡

    半导体(Wafer)是半导体器件制造过程中的基础材料,而划片是将上的芯片分离成单个器件的关键步骤。本文将详细介绍半导体
    的头像 发表于 05-06 10:23 1713次阅读
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>划片</b>技术大比拼:精度与效率的完美平衡

    深圳恒兴隆|走心机主轴:全方位让您的走心机主轴更走心.

    深圳恒兴隆|走心机主轴:全方位让您的走心机主轴更走心走心机主轴是数控机床中主要构成零件之一,它通常由主轴箱、主轴齿轮传动系统、
    发表于 04-15 10:36

    划片工艺分析

    圆经过前道工序后芯片制备完成,还需要经过切割使上的芯片分离下来,最后进行封装。
    的头像 发表于 03-17 14:36 1736次阅读
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>的<b class='flag-5'>划片</b>工艺分析

    雕刻主轴相关知识的总结分享!|深圳恒兴隆机电a

    过高则会使刀具寿命缩短。一般来说,加工硬材料时转速适宜较低,而加工软材料时转速适宜较高;3、稳定性要好:选购时要选择稳定性好、振动小的雕刻主轴,以确保加工效果和加工质量;4、品牌信誉要
    发表于 02-26 10:30

    突破划片机技术瓶颈,博捷芯BJX3352助力切割行业升级

    随着半导体行业的快速发展,切割作为半导体制造过程中的重要环节,对于切割设备的性能和精度要求越来越高。为了满足市场需求,提高生产效率,国产划片
    的头像 发表于 01-19 16:55 443次阅读
    突破<b class='flag-5'>划片</b>机技术瓶颈,博捷芯BJX3352助力<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>切割</b>行业升级

    从不同应用,划片机主要包括如下几个方面

    在半导体行业中,划片机被广泛应用于各种材料和应用的切割和加工。根据不同的应用,划片机主要可以分为以下几个方面:一、半导体材料划片半导体材料
    的头像 发表于 01-03 15:35 727次阅读
    从不同应用,<b class='flag-5'>划片</b><b class='flag-5'>机主</b>要包括如下几个方面

    划片机在COB铝基板上精密切割应用

    随着科技的快速发展,划片机作为一种先进的切割设备,在COB铝基板等高精度材料的切割应用中取得了新的突破。本文将详细介绍划片机在COB铝基板上精密切割
    的头像 发表于 12-25 16:54 520次阅读
    <b class='flag-5'>划片</b>机在COB铝基板上精密<b class='flag-5'>切割</b>应用

    全自动双轴划片机:半导体制造的关键利器

    随着科技的飞速发展,半导体行业正以前所未有的速度向前迈进。在这个过程中,全自动双轴划片机作为一种重要的设备,在半导体、集成电路、QF
    的头像 发表于 12-21 18:24 565次阅读
    全自动双轴<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>划片</b>机:半导体制造的关键利器

    曲线分板机主轴哪个品牌好

    本文介绍了曲线分板机主轴在PCB电路板切割和分板中的应用和SycoTec曲线分板机主轴的独特优势,包括高效切割、节省人力、提高效率、尺寸小重量轻和适应性强等特点,并提到了其他品牌的
    的头像 发表于 12-11 13:29 1288次阅读
    曲线分板<b class='flag-5'>机主轴</b>哪个品牌好

    划片机助力LED陶瓷基板高效切割:科技提升产业新高度

    博捷芯半导体划片机在LED陶瓷基板制造领域,划片机作为一种先进的切割工具,正在为提升产业效率和产品质
    的头像 发表于 12-08 06:57 909次阅读
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>划片</b>机助力LED陶瓷基板高效<b class='flag-5'>切割</b>:科技提升产业新高度

    SiC划片工艺:速度提升100倍,芯片增加13%

    近日,一家日本厂商发布了一种全新的SiC划片工艺,与传统工艺相比,这项技术可将划片速度提升100倍,而且可以帮助SiC厂商增加13%的芯片数量。
    的头像 发表于 11-21 18:15 2273次阅读
    SiC<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>划片</b>工艺:速度提升100倍,芯片增加13%

    博捷芯精密划片机:半导体工艺精细化高效化的新里程碑

    表现,引领着行业的发展。半导体划片机主要分为砂轮划片机和激光划片机,两者都为半导体制造过程中
    的头像 发表于 11-16 18:24 377次阅读
    博捷芯精密<b class='flag-5'>划片</b>机:半导体工艺精细化高效化的新里程碑