10.4.3 纳米压印（NIL）∈《集成电路产业全书》
Nanoimprint Lithography
https://www.smics.com
美国科天（KAL-Tencor）公司 萧宏
审稿人：北京大学 张兴 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.3 集成电路新材料
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册
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