3D形貌地图配合色谱图,非常直观,但横向测试范围,纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中,3D AOI(自动光学检测)是对传统精密加工上的升级,弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学光学表面轮廓仪格实惠不说,基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1系列能以非接触的方式,无损检测精密机械加工表面,检测结果以3D数据地图的方式显示,直观地展示了表面纹理特征。
![poYBAGJH-SyAYVGNAAHAV-RhDvY699.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3B/29/poYBAGJH-SyAYVGNAAHAV-RhDvY699.jpg)
![pYYBAGJH-SuAKMTRAAGixAXuW0Q695.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3B/2D/pYYBAGJH-SuAKMTRAAGixAXuW0Q695.jpg)
![pYYBAGJH-6mAB1lDAAHFTHEy4UE658.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3B/2E/pYYBAGJH-6mAB1lDAAHFTHEy4UE658.jpg)
![poYBAGJH-6mAFRfpAAHblYajJ2M721.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3B/2A/poYBAGJH-6mAFRfpAAHblYajJ2M721.jpg)
中图仪器推出的SuperViewW1系列光学表面轮廓仪采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,诠释始终如一的测量品质。W1系列光学3D表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型,另可针对不同的客户需求,在两种型号间选取不同配置进行组合,让仪器切合客户需求,贴心省力。
![750750.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3B/BF/poYBAGJOjnGAdNToAAPIKGetftI586.jpg)
产品参数
产品型号:SuperView W1系列
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
产品型号:SuperView W1-Pro
影像系统:1024×1024
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY位移平台:尺寸300×300mm,行程200×200mm,电动
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
【注释:更多详细产品信息,请联系我们获取】
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