白光干涉仪属于精度高达到亚纳米级别的检测仪器,对使用的现场环境(地面振动、空气中声波振动)比较敏感,因此中图的光学3d表面轮廓仪底下都是加了气浮平台进行隔振的。
光学3d表面轮廓仪是干嘛的?
中图仪器光学3d表面轮廓仪应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。为工件的微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据,降低了劳动强度,提髙了生产效率。
![pYYBAGJP4eOATiovAADpZNYvXWc683.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3C/08/pYYBAGJP4eOATiovAADpZNYvXWc683.jpg)
产品性能特征
1、高精度、高重复性
3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统,以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统,保证了测量精度和测量重复性。
2、一体化操作的测量分析软件
测量数据自动统计,可视化窗口,结合自定义分析模板的自动化测量功能,实现了快速批量测量的功能,自动完成多区域的测量与分析过程。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
(1)软件防撞保护ZSTOP
即在Z轴上设置停止位,设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离,当镜头运动到该位置时,就立刻停止不再向下运动,起到保护样品和镜头的作用。
(2)Z轴硬件防撞传感器
在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品,也守护每一分价值和信任。
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