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10.4.4 定向自组装光刻技术(DSA)∈《集成电路产业全书》

深圳市致知行科技有限公司 2022-04-18 11:18 次阅读

Directed Self-assembly Lithography(DSA)

审稿人:北京大学 蔡一茂 杨远程

https://www.pku.edu.cn

审稿人:北京大学 张兴

10.3 集成电路新材料

第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展

《集成电路产业全书》下册

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