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晶圆切割机:硬脆材料划片机的工艺参数研究!

博捷芯半导体 2022-05-30 09:23 次阅读

硬脆材料划片的实现依赖于锐利的金刚石刀片和高精度、高刚性的划片装置,以及高精度的空气静压主轴等来实现。在了解硬脆材料的性能和划片机理的基础上,作为设备制造厂家对硬脆材料划片工艺的研究,就显得十分必要和紧迫,对工艺参数的研究和优化,能够支持设备及半导体行业的发展。

砂轮划片机的划片质量和划片效率,与划片工艺参数有十分密切的关系.在划片硬脆材料中,划切道宽度与崩边的大小,主要是受主轴转速、刀片、划片速度、划片深度、冷却方式等工艺参数的影响。所以本研究主要是研究工艺参数最佳化,从划片质量、划片效率、刀片磨埙以及邓命上综合考虑,得出经济适用的工艺参数。

具体研究内容包括以下几个方面:

( 1)砂轮划片机划切性能的研究。

( 2)金刚石砂轮刀片的特性分析研究。

( 3)划片工艺参数主轴转速、划片速度、划片深度和冷却流且等对划片影响的研究。

( 4)采用田口实验法,用正交实验对多种可控因素进行定量研究,对实验数据进行处理,得到优化的工艺参数,并进行实验验证。

( 5)设备的功能完善和改进,使设备更好地满足工艺要求。

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