光刻机是集成电路生产的关键设备之一,在整个生产过程中占据重要的地位。高精度的工作台作为光刻机核心部件之一,其运动性能和定位精度决定了光刻工艺所能实现的线宽和产率。
光刻机的工作台是一个六自由度的运动台,其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch,直线度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是获得XY线性(重复)精度(Linear Positioning)的关键,是后续实现六自由度的控制的基石,是多层曝光对准精度的源头。
本次利用SJ6000激光干涉仪检测一台光刻机XY轴的角摆和直线度,部分结果如下:
Y轴Vertical Straightness测量X轴Pitch测量X轴测量轴长225mm,其中垂直直线度测得结果0.58μm。
Y轴测量轴长600mm,测得角度Yaw结果0.86″。
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激光干涉仪
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