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「陆芯晶圆切割机」精密划片机操作以及注意事项

博捷芯半导体 2022-04-06 14:20 次阅读

精密划片机操作以及注意事项

1.提前贴好绿膜或者其他蓝膜并把产品摆正放置固定位置

2.放置工作台并摆正

3.进入自动识别抓取两点并进行自动识别

4.识别完毕进行切割

注意事项

1.测高时工作台上不能有任何物品

2.切割前检查参数是否选择正确

3.更换刀片需检查是否流畅转动

4.工作人员不在现场时需关闭主轴并锁屏

5.工作结束关闭水 气 电进行关闭并检查机械是否正常

6.人员不允许在切割时或主轴转动时身体进入机械内

7.法兰与拆刀法兰 刀片 工作盘需轻拿轻放,如有污秽需酒精无尘布擦拭

8.工作员进行切割工作时必须由进行切割的工作人员完成切割

9.切割前检查气压表 流量计是否正常

10.更换刀片时主轴刀片停止转动时才可打开气锁

11.对焦时注意Z轴不要撞上T轴

12.工作盘下的定位圈检查是否摆正

13.base不能有异物

pYYBAGIwKQmAIm0SAABshpHCvbw418.jpg

问题处理

1.如测高减小值超过限制需联系厂家进行修改参数

2.如切割过程气 水断导致切割强制停止需先急停后初始化

3.传感器信号不良需就无尘布擦拭两边玻璃(保持感应值在90)

4.工件真空如有异响需重新贴膜

5.各轴如感觉移动过慢可在运动控制中修改移动参数

6.如切割陶瓷版不正常可以使用绿膜参数切割绿膜查看是否有异常

7.软件卡死重启软件即可

8.触摸屏幕点不对可在电脑中重新制定触摸点

9.如测高与切割时有问题及时按软急停开关z轴会抬高

10.测高时如位置不对需联系厂家进行修改测高参数

pYYBAGJNDySAM3swAAPR7aqUejs078.png

声明:操机员自身操作失误导致机械故障需及时联系厂家

坐标参数按照膜具标准坐标不用修改

如切割过程中水气压不足导致刀片强制停止转动需进行初始化并急停(水压报警是水的压力不足可在水泵中进行调整水压)

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