在晶圆划切过程中,不仅需要选择适合的划片刀,而且要关注加工条件的优化。合适的划片刀和良好的加工条件,对于获得满足工艺要求的切割效果都起着至关重要的作用。
加工条件主要涉及以下两个方面:
什么是主轴转速?
刀片固定在精密切割设备主轴上,并以非常高的速度旋转。主轴转速通常在每分钟10,000至60,000转之间。刀片旋转速度是影响切割效果的关键因素之一。
需要注意的是,在相同转速下,刀片外径不同,外圆线速度也是不同的。刀片外径越大,外圆线速度越大,如下图所示:
不同的刀片外径为了获得相同的外圆线速度,必须调整转速,以保证切割质量及稳定性。
主轴转速对刀片寿命的影响
当主轴转速增加时,刀片的切割能力提高,金刚石的加工负荷减少,从而提高了刀片寿命,同时降低了被切产品正面崩边产生的风险。另一方面,金刚石加工负荷减少会阻碍刀片自锐,这往往导致被切产品背面崩边发生率的增加,此时降低主轴转速,加速刀片自锐,就是减少被切产品背面崩边发生率的有效措施之一。
主轴转速对切割品质的影响
不同主轴转速下的正面/背面崩边尺寸的变化:
不同主轴转速下的正面崩边尺寸的变化不同主轴转速下的背面崩边尺寸的变化
相同切割条件下,主轴转速越高被切产品正面崩边尺寸越小,背面崩边尺寸越大。
不同主轴转速下的正面切割刀痕变化:
主轴转速:44500主轴转速:56000相同切割条件下,主轴转速越高,刀片蛇形切割的发生概率越高。
为了使被切产品保持良好的正面和背面切割质量表现,并达到预期的使用寿命,需要选择一个主轴转速平衡点。
主轴转速与加工质量的平衡点
由于主轴转速对正面、背面崩边尺寸和刀片寿命均有影响,因此有必要根据被切产品、刀片规格和加工质量标准对主轴转速进行平衡选择。
以上是主轴转速对切割品质及切割寿命的影响,下期我们将讲述进给速度对切割品质及刀片的影响。
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