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10.8.3 体硅微加工工艺∈《集成电路产业全书》

深圳市致知行科技有限公司 2022-05-24 16:53 次阅读

Bulk-Si Micromachining Technology

审稿人:北京大学 王玮

审稿人:北京大学 张兴 蔡一茂

https://www.pku.edu.cn

10.8 集成微系统技术

第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展

《集成电路产业全书》下册

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