半导体晶圆切割机主轴采用空气静压支承的电主轴。现在所使用的主轴有两类:分别是交流主轴,及直流主轴。
![poYBAGG8RO6AJQhBAABsXflbV3E296.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/26/8F/poYBAGG8RO6AJQhBAABsXflbV3E296.jpg)
两类主轴从结构上有以下区别:直流主轴电动机的结构和普通直流电动机的结构基本相同。
其主要区别是:在主磁极上除了绕有主磁极绕组外,还绕有补偿绕组,以便抵消转子反应磁动势对气隙主磁通的影响,改善电动机的调速性能;直流主轴电动机都采用轴向强迫通风冷却或热管冷却,以改善冷却效果。直流主轴电动机在基本速度以下为恒转矩范围,在基本速度以上为恒功率范围,直流主轴主要采用晶体管脉宽调制调速系统调速,一般会装有用于反馈的检测元件。
![pYYBAGG8RO-AF_f-AAEbMoCfyts172.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/26/95/pYYBAGG8RO-AF_f-AAEbMoCfyts172.jpg)
而交流主轴电动机是经过专门设计的鼠笼三相异步电动机。与直流主轴电动机相类似,在基本速度以下为恒转矩区,在基本速度以上为恒功率区。当速度超过一定值后,功率-速度特性曲线会向下倾斜。交流主轴电动机广泛采用矢量控制调速方法进行速度控制。由于结构上的差别造成直流主轴的转速控制精度较高(通过反馈补偿转速),主轴工作时震动量较小,划切效果较好,但其扭矩相对同功率交流主轴偏小,对较厚、硬的玻璃、陶瓷和键和材料划切,切削力不足。
其切割领域主要针对硅晶圆,砷化镓,氧化物晶圆等。交流主轴扭矩较大,震动偏大,主要针对LED基板、生陶瓷、新型电子封装等较硬,精度要求不高的产品加工。
![pYYBAGG8RPGAMIY7AAZHUGbmIN8027.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/26/95/pYYBAGG8RPGAMIY7AAZHUGbmIN8027.jpg)
-
划片机
+关注
关注
0文章
141浏览量
11011
发布评论请先 登录
相关推荐
激光切割机床的基本操作步骤
激光切割机3000w能割多厚啊
![](https://file1.elecfans.com/web2/M00/C5/65/wKgZomX9AFmASk_qADApMDvunmM805.jpg)
博捷芯划片机:实现高精度硅、玻璃、陶瓷等半导体材料切割
![博捷芯<b class='flag-5'>划片</b>机:实现高精度硅、玻璃、陶瓷等<b class='flag-5'>半导体</b>材料<b class='flag-5'>切割</b>](https://file1.elecfans.com/web2/M00/BC/E7/wKgaomWegUKAF2s_AACkKCxCzm8078.png)
![](https://file1.elecfans.com/web2/M00/B3/44/wKgZomVlWcqAPUzDADOf3nSLdCw243.jpg)
金属激光切割机具体可以切割哪些材料
![金属激光<b class='flag-5'>切割机</b>具体可以<b class='flag-5'>切割</b>哪些材料](https://file1.elecfans.com/web2/M00/B0/56/wKgZomVVgd6AcrqkAACkSv4qsw4277.png)
半导体精密划片机在行业中适合切割哪些材料?
![<b class='flag-5'>半导体</b><b class='flag-5'>精密</b><b class='flag-5'>划片</b>机在行业中适合<b class='flag-5'>切割</b>哪些材料?](https://file1.elecfans.com/web2/M00/AB/DF/wKgaomVCFiKAHrWRAABdTHKUCZQ809.png)
了解激光圆管切割机的功能
![了解激光圆管<b class='flag-5'>切割机</b>的功能](https://file1.elecfans.com/web2/M00/AB/3B/wKgZomUx9-WAUOCZAACsnJOF0zI924.png)
评论