晶圆切割机主轴安装会发生那些因素-电子发烧友网

1平行度。

如果主轴水平不符合要求，切割后的刀槽会变宽，边缘会严重坍塌。例如，NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圆，主轴转速3万r/min、划切速度20mm/s时间。理想的刀痕为0.030～0.035mm，当主轴打表水平等于5时μm实测刀痕为0.045mm。

2垂直度。

如果切割后工件的刀槽一侧坍塌，裂纹严重，另一侧正常，通常由于主轴垂直度不足，可根据坍塌边缘确定主轴的仰角或俯角。

3.主轴速度。

主轴速度匹配切割速度，影响切割效果是主轴速度，理论上增加主轴速度，提高切割速度，确保固定线速度不影响切割效果，但不同速度范围内的主轴振动不同，需要找到最佳组合点，在保证切割效果的前提下提高效率。注：选择主轴速度时，注意工具允许的最大速度，如DISCO的PIA直径50的系列刀具mm(2寸)刀盘时，最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盘时，最高速度<40000r/min。刀具在超过允许的最高速度时会自动解体。

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