白光干涉仪SuperView W1系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。
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产品特点
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
应用领域
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
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白光干涉仪
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