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白光干涉仪是什么?

中图仪器 2021-11-01 10:27 次阅读

白光干涉仪SuperView W1系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。

pYYBAGF6W9iAF_Q9AAEjxFY4pZA357.png中图仪器SuperView W1白光干涉仪


产品特点
1、非接触式测量:避免物件受损。

2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-10mm。

3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。

4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。

5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。

6、扫描仪:采用闭环控制系统

7、工作台:气动装置、抗震、抗压。

8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。

应用领域
1、TFT产业

2、半导体

3、MEMS

4、高校科研

5、精密加工

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