随着我国制造业不断迈向精密化、高端化,对检测手段和检测能力提出了更高的要求,作为产品轮廓尺寸检测仪器的3D轮廓测量仪, Z轴的测量精度已达到微米级,以其超高的测量精度,在先进制造领域发挥着重要作用。
VJ系列3D轮廓测量仪
中图仪器VJ系列3D轮廓测量仪,是一款用于半导体、3C电子、医疗器械、磁性材料、精密机械等领域的无接触式扫描3D轮廓成像设备,工件无需定位,自动识别,一键闪测,轻松获得2D/3D参数。其具有能够抑制样品表面多重反射、漫反射所带来影响的线激光测头,实现超高精度测量。
上图展示的是工件的三维形貌,VJ系列3D轮廓测量仪能在几秒钟之内超高精度地呈现目标工件的真实形状,最后呈现不同颜色变化的3D图像是软件利用高度测量数据形成的高低差来显示的,软件可以选择相应测量面,快速得到最高点和最低点信息。
电子电路测量
VJ系列3D轮廓测量仪对电子电路样品表面进行扫描,沟槽轮廓一览无余,如上图所示,我们从图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以清楚地看到沟槽的轮廓曲线,此时使用轮廓分析功能对特征区域进行高度等尺寸数据标注。丰富的2D测量工具,可通过截面形状对高度、宽度、角度以及R角进行各种测量。
半导体产品测量
除2D尺寸测量外, VJ系列3D轮廓测量仪还能够自由地对工件(如上图半导体工件)进行3D几何运算,例如:平面度、共面度、轮廓度等形位公差。
CNC批量测量
多工件批量测量时,软件可以建立模板,CNC模式下,只需按下启动键,仪器即可根据工件的形状自动定位测量对象、匹配模板、测量评价、报表生成,真正实现一键式快速精准测量。
检测报告
“没有超精密测量,就不会有高质量的高端装备制造。”VJ系列3D轮廓测量仪,以其快速便捷、高效稳定的性能助力先进制造业发展!
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