哪些需要用到3D测量仪?SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外的3D测量仪,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
主要应用领域:
1、用于太阳能电池测量;
2、用于半导体晶圆测量;
3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;
4、用于机械部件的计量;
5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。
比如从设计到封装的各个环节都要贯彻测试要求的MEMS,由于尺寸小、质量小、易受环境影响等特点,MEMS测试的主要目的是在工程发展中对设计和仿真过程提供反馈,包括装置行为、系统参数和材料特性等。在MEMS测试项目中,表面特性(粗糙度、台阶高)是一个非常重要的项目,目前主要是采用非接触式的光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)进行测量。
应用
在3C领域,SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;
在LED行业,SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;
在光纤通信行业,SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;
在集成电路行业,SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行业,SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;
在军事领域,SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度等。
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