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激光干涉仪可以完成哪些测量?

中图仪器 2022-08-03 16:37 次阅读

SJ6000激光干涉仪环境适应能力好,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。除了可完成线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量外,在动态测量软件配合下,还可完成线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

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测量功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
3.可实现龙门机床双轴同步测量;
4.可实现对机床回转轴的测量与校准;
5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
6.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
7.支持手动或自动进行环境补偿。

测量应用

pYYBAGKm18qADSlVAAG_Rbds9qE204.jpg线性测量poYBAGKm18qAcZqjAAIxfP-yrwY909.jpg斜床的倾斜轴测量pYYBAGLqKz-AGVG7AARBoFO8--U189.png测量机床直线度pYYBAGLqKVyAI3rlAAS80TwWPq0691.png测量机床偏摆角度pYYBAGLqK3eAR4baAAO5r-IRm_M564.png垂直度测量poYBAGLqK4eARdqeAAJ8mOnfz2A384.png直线度测量

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