UVLED指的是输出波长为紫外区域的发光二极管,其波长范围大致为200-380nm。与低压汞灯、中高压汞灯、氙灯和准分子灯等其他紫外光源相比,UVLED光源具有辐射效率高,工作速率快、工作寿命长达1-2万小时、环境友好不含汞、热辐射小等优异的特性。UVLED逐渐代替传统紫外光源,成为了主流的光源结构。UVLED能将电能直接转换成UV光,发出单波段紫外光,光线能量高度集中在特定紫外光波段。由于紫外线的光量子具有较大的能量,紫外光可广泛地应用于光刻、固化、曝光、光功能分子等改变成分的场景。
实际的工业生产、科研场景和半导体制造过程往往需要高功率UVLED光源以保证最终的生产效果,如电子元件固化、镜头粘接、荧光光源、自动生产线等等。高功率 UVLED光源不但能够输出高功率的光波,还能够平稳地控制输出波长和功率,可满足生产线安装和各种高性能化学物理研究,实现快速且稳定的固化过程。
虹科高功率UVLED点光源
虹科高功率UVLED点光源是先进的紫外发光二极管光引擎,采用“UV-LED、电源和冷却系统”的集成结构,可实现多个大功率 UV-LED 安装,实现业界高功率输出,非常适用于各种工业应用,提高吞吐量,减少缺陷,缩短处理时间。
01
光谱模块化
完全灵活地组合和选择可用的波长,适用于各种紫外线应用场景
这种多波长组合型紫外光源创建新的固化工艺以提高性能,有效地进行深度固化,实现高聚合度,提高结合强度。
02
更改照射范围
虹科高功率UVLED光源可以通过“改变镜头和工作距离”,自由改变照射范围。除了支持表面发射外,还可以将高功率光照射到狭窄区域进行冷凝。此外,由于照射区域十分均匀,因此可以均匀地执行紫外固化或照射任务。
可选配件
单级或多级液体光导
聚光/聚焦光学器件,可用于不同形状曝光
产品介绍
01
虹科ALE/1
虹科ALE/1是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置,先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED,可输出或定制多个波长(365nm,385nm,405nm,435nm),最高可达到30W输出。LED模块易于更换,可灵活应对应用程序更改,易于集成到新的和现有设置中,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源。虹科ALE/1 UVLED光源可适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影***、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。
02
虹科ALE/3
虹科ALE/3光源是代替以往的水银灯的高输出LED紫外线光源装置,可内置2种LED,可选择单光谱设置(365、385、405或435nm)和多光谱设置(365和405nm),高达15 W光输出,是粘合剂硬化及半导体晶片的周边曝光等应用中有效光源方案,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源。
虹科ALE/3 UVLED光源是替代汞灯的完美解决方案,适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影***、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。
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