硅片电阻率测试仪TS1700电量输出/测量:内置直流稳压电源和精密电流测量单元,测量不确定度达0.1%。
硅片电阻率测试仪TS1700每次测量时电压值均可稳定在500 mV,并同步测量回路电流,范围:0~1.2 A。
触头执行结构:由2根螺旋钻头、10根带触头的金属杆、施压装置等组成。
标配触头(标准推荐):单个触头面积约为64.5 mm2, 10个总面积达645 mm2。
选配触头(选配件):单个触头面积约为100 mm2, 10个总面积达1000 mm2。
导电橡胶触头(TS1700-B):该触头为面积为645 mm2的导电橡胶,可实现触头与样品软接触。与富兰克林法相比具有更高的重复性和可比性。
钻头具有很好的锐度,可在一定压力下轻易刺破电工钢表面涂层。
钻头、触头金属杆均由电动缸驱动,在垂直方向同步移动,以接触样品进行测试。
测试时,单个触头表面压力约2 N/mm2,配压力传感器实时监控所施加的压力。
样品托盘:由电机驱动,可带动样品前后移动,以寻找多个不同的测试区域,获取多组测试数据。通过软件可设置1~5组测试点。
系统验证标准器:配备标准电阻线路板,用于系统的日常验证。
移动式测控台:通过液晶触摸屏设置测试参数,观察测试状态及结果,使用便捷。
专业测试软件:设置参数和放置样品外,其他测试过程可通过软件自动完成。
软件可实时显示测试的电压值、电流值、压力值,并记录每组测试数据。
硅片电阻率测试仪TS1700硅片电阻率测试仪TS17005. 硅片电阻率测试仪TS1700试样要求
样品尺寸:( 300 mm~500 mm ) × ( 200 mm ) (长×宽)
样品厚度:0.1 mm~1.0 mm
其他要求:试样表面应清洁、平整、无斑痕、划痕
6. 硅片电阻率测试仪TS1700一般技术规格
供电电源 AC ( 220 ± 22 ) V,( 50 ± 2 ) Hz
温度性能 工作温度:0°C~40°C;储存温度:-20°C~70°C
湿度性能 工作湿度:40%~80% R·H不结露
储存湿度:< 95% R·H,不结露
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