以共聚焦技术为原理的激光共聚焦显微镜,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
激光共聚焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。传统光学显微镜上常配备灵敏度较低的CCD相机来采集图像,对于低照度的光,如荧光无法探测到,而共聚焦显微镜系统使用的探测元件是高灵敏度的光电倍增管,对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度,并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。
在相同物镜放大的条件下,VT6000激光共聚焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。如同为微纳检测的利器,共聚焦显微镜却是与白光干涉仪有着诸多不同,如果用一个字眼来形容,那么白光干涉仪是“文”,而共聚焦显微镜是“武”。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的精准;而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊一筹,但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。
激光共聚焦显微镜应用
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