SuperViewW1白光轮廓仪是以白光干涉技术为原理,实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器。多用于测量大范围光滑的样品,尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的准确;测量行程有140*100*100㎜,对于测量物体整个区域表面情况,还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈,在样品表面抽取多个区域测量,就可以快速实现大区域、高精度的测量,从而对样品进行评估分析。
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以共聚焦测量技术为原理的VT6000共聚焦显微镜,擅长微纳级粗糙轮廓的检测,更容易测陡峭边缘,虽在检测分辨率上略逊,但成像图色彩斑斓,便于观察。
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