0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

白光干涉仪测量台阶高度有哪些优势

优可测 2023-04-07 09:14 次阅读

上两期介绍了粗糙度的概念、设备,也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势,

而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域,

除了粗糙度,还会涉及到台阶高度测量,微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等。

本期,小优博士带大家一起了解白光干涉在测量台阶高度的优势。

精度高

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.png

白光干涉仪精度可达亚纳米级别

poYBAGQuojKAI6F7AABLCe3-saE501.pngpYYBAGQuojKAc9xHAAANawkd5B0879.png

多线测量 工具丰富

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.png

快速选取比探针式更多的截面,保证测量稳定性;

功能丰富,自动测量最高最低点、平均值,统计分析。

poYBAGQuojKAJsw7AACKsgz_ZMc923.pngpYYBAGQuojKAI6H8AABBBL35njo187.png

图2 , “晶圆切割台阶深度”(由 优可测EX-230,20X 拍摄)

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.png

低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像。

poYBAGQuojKAUitHAAEC9RdH0gE801.png

图3,“超光滑玻璃镜面”(由 优可测EX-230 ,20X 拍摄)

非接触式测量

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.png

非接触式不会刮伤表面,

软质、尖锐产品可测。

pYYBAGQuojOAJj-EAADX5cj7JGY098.pngpYYBAGQuojKAYoutAABH_-j8vss117.png

图4,“软质材料凝固实验”(由 优可测ER-230 ,20X 拍摄)

广视野 速度快

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.png

倍率精度相同,可获得大视野。

以面的形式扫描,

一般在数秒钟内即可完成测量。

优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 测量
    +关注

    关注

    10

    文章

    4850

    浏览量

    111242
  • 干涉仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    87

    浏览量

    10136
  • 白光干涉仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    89

    浏览量

    2046
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    光纤端面3D干涉仪的单色光移相干涉测量

    简单介绍光纤端面3D干涉仪的单色光移相干涉测量法。 现在一般光纤端面3D干涉仪操作界面上,都有白光和单色光(比如红光或其他颜色)的两个选项。
    的头像 发表于 12-18 09:23 73次阅读
    光纤端面3D<b class='flag-5'>干涉仪</b>的单色光移相<b class='flag-5'>干涉</b><b class='flag-5'>测量</b>法

    白光干涉仪测量原理及干涉测量技术的应用

    白光干涉仪利用干涉原理测光程差,测物理量,具高精度。应用于半导体、光学加工、汽车零部件制造及科研等领域,双重防撞保护保障测量安全。基本原理:白光
    发表于 12-16 15:04 0次下载

    白光干涉仪测量原理及干涉测量技术的应用

    白光干涉仪利用干涉原理测光程差,测物理量,具高精度。应用于半导体、光学加工、汽车零部件制造及科研等领域,双重防撞保护保障测量安全。
    的头像 发表于 12-13 16:42 249次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b><b class='flag-5'>测量</b>原理及<b class='flag-5'>干涉</b><b class='flag-5'>测量</b>技术的应用

    揭秘 Sensofar CSI 白光干涉是如何运作的?

    不同的两个光束,然后再合并,从而产生干涉干涉物镜允许显微镜作为干涉仪而工作;焦点对准后,可在样本上观察到条纹。 CSI (白光干涉)使用
    的头像 发表于 11-25 16:49 185次阅读
    揭秘 Sensofar CSI <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉</b>是如何运作的?

    激光干涉仪是如何测量位移的?

    、质量控制和自动化生产中发挥着关键作用。激光干涉仪的基本原理是利用激光的干涉效应进行测量和分析。在国际上,多种常用的激光干涉仪技术,如迈克
    的头像 发表于 09-26 08:05 1675次阅读
    激光<b class='flag-5'>干涉仪</b>是如何<b class='flag-5'>测量</b>位移的?

    优可测白光干涉仪助力红外探测行业发展——晶圆衬底检测

    晶圆衬底的质量对红外探测器芯片性能至关重要,优可测白光干涉仪可以高精度测量晶圆衬底的亚纳米级粗糙度、纳米级台阶、整体平面度、微观三维形貌等。
    的头像 发表于 08-30 17:38 656次阅读
    优可测<b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>助力红外探测行业发展——晶圆衬底检测

    白光干涉仪相关的精度概念都有哪些

    文章介绍了白光干涉仪的Z轴垂直精度和XY横向精度的相关概念,包括垂直分辨率、RMS重复性、台阶重复性等,以及影响精度的因素,并强调使用环境的稳定性对精度的重要性。
    的头像 发表于 08-13 08:31 550次阅读
    与<b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>相关的精度概念都有哪些

    微观特征轮廓尺寸测量:光学3D轮廓、共焦显微镜与台阶的应用

    随着科技进步,显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量,其中包括光学3D表面轮廓
    发表于 06-07 09:31 0次下载

    激光共聚焦和白光干涉仪哪个好?

    激光共聚焦和白光干涉仪哪个好?在精密测量领域,激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量
    发表于 05-06 09:41 0次下载

    激光共聚焦和白光干涉仪哪个好?

    在精密测量领域,激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好,取决于具
    的头像 发表于 04-24 11:45 810次阅读
    激光共聚焦和<b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>哪个好?

    SJ6000激光干涉仪测量机床精度全面解析

    广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉,形成
    发表于 03-14 10:51 0次下载

    白光干涉仪、闪测:橡胶密封圈精密检测案例

    橡胶密封圈的密封性是评判产品好坏的重要指标,其中表面粗糙度、平面度以及尺寸等均是影响密封性的重要因素。优可测白光干涉仪、一键式影像测量仪、3D线激光测量仪精准覆盖检测需求,并具备相应的
    的头像 发表于 03-13 08:29 892次阅读
    <b class='flag-5'>白光</b><b class='flag-5'>干涉仪</b>、闪测<b class='flag-5'>仪</b>:橡胶密封圈精密检测案例