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如何验证白光干涉仪精度丨科普篇

优可测 2023-04-07 09:17 次阅读

粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。

小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。

白光干涉的超高精度,会让很多评估者无从下手。

怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力?

小优博士给您支招。

非常简单!

只需准备“SiC硅片” 和 “标准台阶块”

15分钟验证3大参数即可!

a、RMS重复性

b、台阶重复性、台阶准度

c、扫描量程、扫描速度

一、RMS重复性

RMS重复性:ISO 25178 标准下,测量两次SiC表面粗糙度Sq;

取Sq/√2 的差值,或30取1σ的平均偏差。

poYBAGQuosqAf4XqAAA26pjHeFc196.png

(图1 SiC晶圆)

二、台阶重复性、准度

台阶重复性:测量标准台阶高度的重复偏差;

一般测量30次,取1σ的极值偏差/平均值。

台阶准度:测量值相对标准值的偏差;

一般测量30次,取1σ的标准偏差/标准值。

poYBAGQuosqAFdPoAAAbjAc9wRc72.jpeg

(图2 标准台阶块)

三、扫描量程、速度

硬件“压电陶瓷“直接决定了量程和速度;

验证方法:实测样品确定量程,使用秒表计算时间。

====

普通实验室环境下

小优博士使用优可测Atometrics白光干涉仪ER-230进行实验。

↓ ↓

pYYBAGQuosuAJPvhAAA50b45HTw309.png

(图3 对SiC标准片进行30次粗糙度Sq,取1σ的标准偏差)

RMS重复性0.005nm

--

poYBAGQuosqAbTinAAAu2EFCoVw074.pngpYYBAGQuosqAezNJAABBms_UvG0984.png

(图4 对12μm马尔标准块进行30次高度测量)

取1σ的极值偏差/平均值,台阶高度重复性0.07%

取1σ的平均值/标准值,台阶高度准确性0.3%

--

poYBAGQuosuAVRjFAAC8jCOp_ZA226.pngpoYBAGQuosuAL2jEAAAlZga88Uw697.png

(图5 对接近5000μm的产品进行扫描)

高度 4815μm

pYYBAGQuosuAfzm1AAAQGNNCgDg93.jpeg

(图5 记录扫描时间)

扫描速度400μm/s

15分钟验证完毕,此技巧你掌握了么

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