SHA、FHA、RSF系列执行器是日本Harmonic公司的一款谐波减速机和伺服电机一体化的产品。HMA是大中空直驱力矩电机产品。
SHA系列执行器有6种尺寸可选,最大输出转矩为3419Nm,减速比范围11~161,单向定位精度≤30arcsec(1:80以上速比)。
FHA-C系列执行器4种尺寸可选,最大输出转矩达820Nm,减速比范围50~100,单向定位精度≤30arcsec。
RSF系列执行器4种尺寸可选,最大输出转矩达330Nm,减速比范围50~100,单向定位精度≤90arcsec。
HMA系列直驱电机5种尺寸可选,最大输出转矩33Nm,最高转速6000rpm,中空直径最大60mm,标配绝对值编码器单圈17位多圈计数16位。
北方某客户在CMP设备使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列产品:
1、 转台:负载220kg,直径1600mm,交流伺服电机+行星减速机无法满足安装空间和精度要求,选用了SHA65A产品,减速比为1:161,输出转矩为3419Nm,满足了晶片转台大惯量匹配及快速定位需求,中空结构可放置气管和线缆,扁平机身降低安装空间和设备重心;
2、 磨头:选用了RSF-32A产品,集成高分辨率编码器和1:50减速机,使输出端转速波动小,运行平稳,提高了研磨精度;
3、 清洗甩干:选用了HMAB12产品,最高输出转速4800rpm,中空法兰输出结构便于晶片吸取,大扭矩高惯量使甩干速度运行平稳。
4、 FHA-40C产品应用于清洗的提拉翻转机构,减速比为1:100,输出转矩为690Nm,小体积高功率密度降低安装空间需求。
驱动器选用了Copley公司的XEL-230-18,通过EtherCAT总线接入倍福控制器。
Harmonic执行器产品的应用,很好的满足了客户对于提高控制精度,高速定位,紧凑安装空间的需求。
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