0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

Atonarp 质谱分析仪应用于沉积和刻蚀 3D NAND 存储器

hakutovacuum 来源:hakutovacuum 作者:hakutovacuum 2023-06-21 10:09 次阅读

Aston™质谱分析仪应用于沉积和刻蚀 3D NAND 存储器
3D NAND 工艺通过堆叠存储单元, 提供更高的比特密度, 上海伯东日本 Atonarp Aston™质谱分析仪适用于先进半导体工艺(如沉积和蚀刻)所需的定量气体分析. 沉积应用中: 实时过程气体监控,以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程; 蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁.


3D NAND 工艺概述

工艺步骤

wKgZomSSW8aAGgILAAA8zwiv_DA528.jpg

wKgaomSSW8aAA2wxAAA-bBebR28122.JPG

wKgZomSSW8eAPSfTAAA7eNlRf18592.JPG

堆叠沉积: 交替氧化物(蓝色)和氮化物(绿色)薄膜沉积(每个堆叠 >200 对) 通道蚀刻: 沉积硬掩模, 形成开口, 高纵横比通道贯穿所有层(每个晶片>1 万亿个孔) 阶梯蚀刻: 字线的接触焊盘是使用产生阶梯结构的受控蚀刻来创建的.
ASTON 优势 均匀的厚度对电气性能至关重要. Aston™质谱分析仪可实现厚度控制, 层定义和化学计量工程. 高纵横比通道孔需要从上到下完整且均匀, 没有弯曲或扭曲. Aston™质谱能够在腔内测量蚀刻反应物. 蚀刻轮廓控制精度(埃). 蚀刻深度能力(微米).
Aston™质谱仪通过动态测量化学物质来实现蚀刻
工艺步骤

wKgaomSSW8iAe2J8AAA9VFUhIYw536.JPG

wKgZomSSW8iAJhgdAAA_PLHFvsI597.JPG

wKgaomSSW8mAMOVPAABGOnHj0ZA552.JPG

狭缝蚀刻: 沉积硬掩模层, 形成硬开口图案, 蚀刻狭缝以分离通道孔列. 这将创建一个存储单元阵列. 字线沉积: 在一些 3D NAND 方案中, 除去氮化物层, 然后使用由内向外的原子层沉积工艺(紫色)创建钨字线. 晶圆上最终 3D NAND 结构的横截面
ASTON优势 Aston™质谱仪通过连续测量反应物来实现蚀刻的均匀性和精度. 除去氮化层并填充钨. Aston™质谱仪实现了分子水平的控制.

来源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM

Aston™ 质谱仪优势
ppb 级灵敏度的高速采样
非常适合高纵横比的 3D 结构
耐腐蚀性气体, 坚固紧凑
易于集成到工具平台中
沉积应用中: 实时过程气体监控,以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程
蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁

Atonarp Aston™ 技术参数

类型 Impact-300 Impact-300DP Plasma-200 Plasma-200DP Plasma-300 Plasma-300DP
型号 AST3007 AST3006 AST3005 AST3004 AST3003 AST3002
质量分离 四级杆
真空系统 分子泵 分子泵
隔膜泵
分子泵 分子泵
隔膜泵
分子泵 分子泵
隔膜泵
检测器 FC /SEM
质量范围 2-285 2-220 2-285
分辨率 0.8±0.2
检测限 0.1 PPM
工作温度 15-35“℃
功率 350 W
重量 15 kg
尺寸 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) 400 x 240 x 325 LxWxH(mm)


若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请联络

上海伯东版权所有, 翻拷必究

审核编辑黄宇

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 分析仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    1507

    浏览量

    52045
  • NAND
    +关注

    关注

    16

    文章

    1681

    浏览量

    136121
  • 存储器
    +关注

    关注

    38

    文章

    7484

    浏览量

    163766
  • 质谱
    +关注

    关注

    0

    文章

    20

    浏览量

    9472
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    【半导体存储】关于NAND Flash的一些小知识

    。 []()   NAND Flash 存储单元尺寸更小,存储密度更高,单位容量成本更低,块擦/写速度快, 具有更长的寿命,多应用于大容量数据存储
    发表于 12-17 17:34

    谱分析仪与信号分析仪的区别

    成分的仪器。它通过将输入信号与本地振荡产生的信号进行混频,将信号转换到中频,然后使用滤波和检波来测量不同频率成分的幅度。频谱分析仪主要用于
    的头像 发表于 11-27 15:26 442次阅读

    谱分析仪的工作原理 频谱分析仪的应用领域

    谱分析仪是一种用于测量信号频率成分的仪器,它能够显示信号的频谱,即不同频率成分的幅度。以下是频谱分析仪的基本工作原理: 输入信号 :首先,待测信号被输入到频谱分析仪中。 调制过程 :
    的头像 发表于 11-27 15:24 394次阅读

    Keysight 频谱分析仪(信号分析仪

    Keysight频谱分析仪(信号分析仪)足够的性能和卓越的可靠性,帮助您更轻松、更快速地应对常见的射频-微波测试测量挑战。可靠的频谱分析仪和信号分析仪提供准确可信的测量结果无论您是要在
    的头像 发表于 09-12 08:10 466次阅读
    Keysight 频<b class='flag-5'>谱分析仪</b>(信号<b class='flag-5'>分析仪</b>)

    谱分析仪数据怎么看

    谱分析仪是一种用于测量物质成分和结构的仪器,广泛应用于化学、物理、生物、材料科学等领域。光谱分析仪通过测量物质对不同波长光的吸收、发射或散射特性,来
    的头像 发表于 07-18 09:16 779次阅读

    谱分析仪项目有哪些

    谱分析仪是一种用于测量信号频率成分的电子仪器。它广泛应用于通信、电子、电力、科研等领域。本文将详细介绍频谱分析仪的项目,包括其原理、类型、应用、性能指标、操作步骤、维护与保养等方面。
    的头像 发表于 06-03 09:46 411次阅读

    谱分析仪检定规程标准

    引言 频谱分析仪是一种用于测量信号频谱分布的仪器,它能够将信号分解成不同频率成分,并对各频率成分进行测量和分析。频谱分析仪广泛应用于通信、电
    的头像 发表于 06-03 09:26 624次阅读

    谱分析仪是否有磁性原理

    谱分析仪是一种用于测量信号频率成分的电子仪器,它广泛应用于通信、电子、电力等领域。本文将详细介绍频谱分析仪的工作原理、分类、应用以及磁性原理在频
    的头像 发表于 06-03 09:23 454次阅读

    谱分析仪使用方法 频谱分析仪的作用

    谱分析仪是一种用于测量信号频谱成分的电子测量仪器,广泛应用于通信、电子、电力、科研等领域。本文将详细介绍频谱分析仪的使用方法和作用。 一、频谱分析
    的头像 发表于 05-31 17:17 1045次阅读

    谱分析仪是干什么用的 频谱分析仪和示波器的区别

    频率分析 :频谱分析仪可以测量信号的频率成分,帮助用户了解信号的频谱分布。 信号幅度分析 :通过测量不同频率成分的幅度,频谱分析仪可以提供信号的功率谱密度。 调制
    的头像 发表于 05-31 16:43 1016次阅读

    谱分析仪怎么测量频率

    谱分析仪作为电子测量领域的重要工具,主要用于分析信号的频谱特性,包括信号的频率、幅度、相位等参数。在无线通信、雷达、电子对抗等领域,频谱分析仪对于频率的测量尤为关键。本文将详细介绍频
    的头像 发表于 05-14 15:57 1402次阅读

    扫频频谱分析仪与实时频谱分析仪的区别

    在电子测量领域中,频谱分析仪是一种至关重要的工具,它能够帮助工程师和技术人员精确地测量和分析信号的频谱特性。传统的频谱分析仪,如扫频频谱分析仪,与新兴的实时频
    的头像 发表于 05-13 18:04 1927次阅读

    影响频谱分析仪分辨率的因素解析

    谱分析仪,作为电子测量领域的重要工具,广泛应用于无线通信、雷达、音频处理等多个领域。其分辨率是衡量仪器性能的重要指标之一,决定了频谱分析仪能够区分两个相邻频率分量的能力。本文将深入探讨影响频
    的头像 发表于 05-13 17:38 767次阅读

    有了2D NAND,为什么要升级到3D呢?

    2D NAND3D NAND都是非易失性存储技术(NVM Non-VolatileMemory),属于Memory(
    的头像 发表于 03-17 15:31 1015次阅读
    有了2<b class='flag-5'>D</b> <b class='flag-5'>NAND</b>,为什么要升级到<b class='flag-5'>3D</b>呢?

    实时频谱分析仪FFT功能如何采集信号?

    的FFT功能如何采集信号之前,首先我们需要了解FFT算法的原理和作用。 FFT算法是一种快速计算离散傅里叶变换(DFT)的方法,它通过将N点离散信号变换到频域,从而得到信号的频谱信息。在实时频谱分析仪中,FFT算法被广泛应用于对输
    的头像 发表于 01-19 15:01 1189次阅读