Dage Quadra7介绍
作为Dage Quadra 系列中前沿的产品,Dage Quadra7拥有出色的亚微米级高分辨率和衬度,可实现细微缺陷清晰展现。
采用高功率(160kV 20W)X射线源技术,相较同类产品(15W)大大提升了X射线通量,在维持小焦点尺寸的同时提高了成像效率、衬度和信噪比。
在10W以内可实现0.1um的分辨率。
配有670万像素的C-MOS平板探测器,几何放大倍数可达2500倍。
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JIMA卡专用于测量X射线系统的分辨率,以保证X射线系统在微米和纳米焦点的图像质量。
DageQuadra7 JIMA卡实测可达到最高的分辨0.4um。
失效分析:细微缺陷及T角度观察Via
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失效分析:自动测量孔洞率与球径及数据导出
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特殊能力:辐射累积测试
Dage Quadra7可通过曝光距离、管电压、管功率、暴露时间等参数计算得到样品所受辐射剂量。方便进行辐射累积实验及芯片软失效分析。
剂量单位为拉德(rad),1rad=0.01Gy
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GIGA FORCE
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原文标题:季丰先进2DX-ray分析能力介绍
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