太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源,在近些年迎来快速发展,而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中,多会镀一层透明的ITO导电薄膜,其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响,因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。
由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有较强的反射率,会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真,因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量,由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米,考虑到测量的同时不损伤样件本身,因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。
中图仪器CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有极强的优势。视频中展示了中图仪器CP200台阶仪测量ITO导电薄膜的全过程,针对该应用场景,CP200台阶仪提供如下便捷功能:1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势。中图仪器,以雄厚的技术实力,为产品性能优越性提供支撑;以卓越的产品性能,为测量数据准确性保驾护航;以专业化的产品和服务,为客户提供最优的解决方案。
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